如果经过劳动监察调解后单位仍然未支付工资，您可以按照以下步骤来维护自己的合法权益：
一、申请劳动仲裁
首先，您可以凭借劳动监察调解协议，向当地的劳动争议仲裁委员会提出仲裁申请。在申请时，请务必提交充分的证据，如劳动合同、工资条、工作证、考勤记录以及调解协议等，以证明您与单位之间存在劳动关系以及单位未支付工资的事实。
劳动争议仲裁委员会在受理您的申请后，会根据双方提交的证据和陈述进行审理。如果您能够证明劳动关系存在且单位确实未支付工资，仲裁委将依法作出裁决，要求单位支付您的工资。
二、提起诉讼
如果您对仲裁结果不满意，或者单位未按照仲裁裁决履行支付义务，您可以在规定的时间内向人民法院提起诉讼。在提起诉讼时，请同样提交充分的证据，并详细阐述您的诉求和理由。
法院在受理您的案件后，会依据相关法律法规和证据进行审理，并作出公正的判决。如果法院判决单位支付工资，但单位仍然未履行支付义务，您可以向法院申请强制执行，以确保您的合法权益得到切实维护。
三、注意事项
保留证据：在整个过程中，请务必妥善保留所有与劳动关系和工资支付相关的证据和文件。这些证据将对您维权起到至关重要的作用。
及时维权：劳动争议处理存在相应的时效规定，因此请您在发现单位未支付工资后尽快采取行动，以避免因超过时效而导致权益受损。
了解法律：在维权过程中，建议您了解相关法律法规和政策规定，以便更好地维护自己的合法权益。
综上所述，如果经过劳动监察调解后单位仍然未支付工资，您可以通过申请劳动仲裁和提起诉讼等合法途径来维护自己的权益。在此过程中，请务必保留好证据、及时维权，并了解相关法律法规和政策规定。