市场监管部门立案后发现违法事实不成立的，应当依法作出撤销案件的决定，并终止调查程序，相关处理依据及程序要点如下：

1. 法律依据
   根据《市场监督管理行政处罚程序规定》第四十六条，市场监管部门在调查终结后，若发现违法事实不成立的，应当作出撤销案件的决定。此处“违法事实不成立”包括两种情形：
   

• 证据不足：现有证据无法证明当事人存在违法行为（如缺乏关键证据链、证据真实性存疑等）；
  
• 事实不存在：经调查确认当事人未实施被指控的违法行为（如举报内容与事实不符、行为主体错误等）。
  

1. 处理程序
   

• 终止调查：市场监管部门需在调查终结后（通常指完成证据收集、询问当事人等程序）作出撤销案件决定，并制作《撤销案件决定书》；
  
• 通知当事人：根据《行政处罚法》第五十七条，若案件涉及当事人权益，应将撤销案件决定送达当事人，并说明理由；
  
• 归档备案：撤销案件的决定需归入案件卷宗，作为执法监督的依据。
  

1. 特殊情形处理
   

• 错误立案的纠正：若立案后发现案件不属于市场监管部门管辖（如应由其他部门处理），应依据《市场监督管理行政处罚程序规定》第十七条，将案件移送有管辖权的部门，而非直接撤销；
  
• 当事人权益保护：若撤销案件导致当事人已配合调查产生损失（如误工费、鉴定费等），法律未明确规定补偿义务，但当事人可依据《民法典》通过民事途径主张权益（需具体分析因果关系）。
  

1. 监督与救济
   

• 内部监督：上级市场监管部门可通过执法监督程序审查撤销案件决定的合法性；
  
• 外部救济：若当事人认为撤销案件决定错误（如应处罚却未处罚），可依据《行政复议法》申请行政复议，或直接向法院提起行政诉讼。
  

提示：市场监管部门在处理此类案件时，需严格遵循“证据充分、程序合法”原则，避免因撤销案件不当引发行政争议。若您涉及具体案件，可直接向我咨询细节，我将结合证据材料进一步分析。