当您在劳动监察投诉后，单位当时同意支付工资但后来仍未支付，您可以采取以下详细且具有深度的步骤来维护自己的合法权益：
一、再次与单位沟通并保留证据
首先，您可以尝试再次与单位进行沟通，明确询问为何未按照之前的承诺支付工资，并要求单位给出明确的支付时间和方式。在沟通过程中，务必保留好所有的沟通记录，包括电话录音、短信、微信聊天记录等，这些都可以作为后续维权的重要证据。
二、申请劳动仲裁
如果与单位的沟通无果，您可以向当地有管辖权的劳动争议仲裁委员会申请劳动仲裁。在申请前，您需要准备以下材料：
提交申请后，您需要参与庭审，进行举证、质证和辩论。仲裁委通常会在受理之日起45日内作出裁决，复杂案件可延长至60日。
三、要求支付赔偿金
根据《中华人民共和国劳动合同法》第八十五条的规定，如果单位未按照劳动合同的约定或者国家规定及时足额支付劳动者劳动报酬，且逾期不支付，您可以要求单位按应付金额百分之五十以上百分之一百以下的标准向您加付赔偿金。这一要求可以在劳动仲裁或后续的诉讼过程中明确提出。
四、向法院提起诉讼
如果您对劳动仲裁裁决不服，可以在收到裁决书之日起15日内向人民法院提起诉讼。在诉讼过程中，您需要准备起诉状、仲裁裁决书（如有）以及相关证据材料，并按照民事诉讼程序进行审理。另外，如果您持有工资欠条且不涉及其他劳动关系争议，也可以直接提起民事诉讼。
五、申请支付令
如果债权债务关系明确且能送达债务人（即单位），您还可以向人民法院申请支付令。您需要提交申请书，写明请求给付的金额及所依据的事实、证据。法院审查后，符合条件的会在15日内发出支付令。单位需在收到支付令之日起15日内清偿债务或提出异议。
六、申请强制执行
如果劳动仲裁裁决书或法院判决书生效后，单位仍拒不支付工资，您有权申请强制执行。您需要提交强制执行申请书、生效法律文书等材料至法院。法院会采取执行措施，如冻结银行账户、查封财产等，以确保您的工资得到支付。
七、寻求法律援助与投诉
在整个维权过程中，如果您不熟悉法律程序或需要专业帮助，可以寻求法律援助机构的咨询和代理服务。同时，如果您认为劳动监察大队处理不当或存在不作为的情况，还可以向其上一级主管部门或本级人民政府投诉。
综上所述，面对单位拖欠工资的问题，您应充分利用法律武器，通过多种途径维护自身权益。在整个过程中，保留好证据、及时行使权利至关重要。希望这些建议能对您有所帮助。