离职后中介故意拖欠工资，你可以通过以下途径来维护自己的合法权益：
协商解决：
- 首先，尝试与中介进行直接沟通，明确告知其拖欠工资的行为违反了《中华人民共和国劳动法》的相关规定，要求其尽快足额支付工资。
- 在协商过程中，保留好沟通记录，如聊天记录、通话录音等，以备后续维权之需。
向劳动监察部门投诉：
- 若协商无果，你可以向当地劳动监察部门投诉。劳动监察部门有权对中介进行调查和处理，责令其支付工资。
- 投诉时，需准备好劳动合同、工资条、考勤记录等能证明劳动关系和工资数额的证据。劳动监察部门处理周期相对较短，能较快给劳动者反馈。
申请劳动仲裁：
- 若经劳动监察部门处理后，中介仍未支付工资，你可以向劳动争议仲裁委员会申请劳动仲裁。
- 申请仲裁时，需提交劳动合同、工资条、工作证等能证明劳动关系及欠薪事实的证据。仲裁委受理后，会根据双方提供的证据进行审理，并作出裁决。
- 仲裁程序相对耗时，但裁决具有法律效力，中介必须履行。
提起诉讼：
- 若对仲裁结果不满意，你还可以在规定时间内向法院提起诉讼。
- 诉讼是最后的司法救济途径，能进一步维护你的合法权益。在诉讼过程中，需继续提供证据支持自己的诉求。
法律后果与处罚：
- 根据《中华人民共和国劳动法》第五十条规定，工资应当以货币形式按月支付给劳动者本人，不得克扣或者无故拖欠劳动者的工资。中介拖欠工资的行为是违法的。
- 若中介逾期不支付工资，劳动行政部门会责令其限期支付，并可能按应付金额百分之五十以上百分之一百以下的标准向劳动者加付赔偿金。
- 若中介以转移财产、逃匿等方法逃避支付劳动者的劳动报酬，或者有能力支付而不支付劳动者的劳动报酬，数额较大，经政府有关部门责令支付仍不支付的，还可能构成拒不支付劳动报酬罪，面临刑事处罚。
建议与注意事项：
- 在整个维权过程中，务必保留好相关证据，如劳动合同、工资条、考勤记录、沟通记录等，以证明劳动关系和欠薪事实。
- 维权途径应按先协商、再投诉、最后仲裁和诉讼的顺序进行，逐步维护自身权益。
- 若对法律程序不熟悉，可以寻求专业法律人士的帮助，以确保维权过程顺利进行。
如有进一步疑问或需要具体法律帮助，可以直接向我咨询。