当您面临仲裁程序违法的情况时，确实需要采取一系列措施来维护自身的合法权益。以下是我为您详细梳理的应对策略，希望能对您有所帮助。

一、及时提出异议

在仲裁过程中，如果您发现任何程序违法的情形，比如仲裁员应当回避而未回避、未按规定送达相关文书等，您应立即向仲裁庭提出异议。这是确保仲裁程序合法性的关键步骤，仲裁机构在收到异议后，会迅速对相关程序问题进行审查，并作出相应纠正。

二、申请撤销仲裁裁决

法律依据：根据《中华人民共和国仲裁法》及相关规定，如果您有证据证明仲裁裁决存在违反法定程序等可撤销情形，您可以在收到裁决书之日起六个月内（对于劳动仲裁，则是三十日内）向仲裁委员会所在地的中级人民法院申请撤销裁决。

可撤销情形：包括但不限于没有仲裁协议、裁决事项超出仲裁协议范围、仲裁庭组成或程序违反法定程序、裁决所依据的证据是伪造的、对方当事人隐瞒关键证据、仲裁员有索贿受贿等行为。

申请流程：

1. 收集证据：您需要搜集能证明仲裁程序违法的证据，如仲裁庭组成文件、仲裁程序记录、通讯记录等。
2. 提出申请：在法定时限内向中级人民法院提交撤销仲裁裁决的申请及相关证据材料。
3. 法院审查与裁定：法院将组成合议庭对申请进行审查，若确认仲裁裁决存在违反法定程序等情形，且这些情形足以影响裁决的公正性，法院将裁定撤销该仲裁裁决。

三、申请不予执行仲裁裁决

如果您作为仲裁裁决的被申请人，在执行程序中发现仲裁裁决存在违法情形，您可以向受理执行申请的法院提出不予执行的申请。这与申请撤销仲裁裁决的情形相似，包括没有仲裁协议、裁决事项超出范围、程序违法等。

四、提起诉讼

对于某些特定类型的纠纷，如劳动争议，如果您对仲裁裁决不服，可以在收到仲裁裁决书后的规定期限内（如十五日内）向人民法院提起诉讼。法院将对整个争议案件进行全面审查，包括程序和实体问题，并依法作出判决。

五、重新申请仲裁

如果因仲裁程序违法导致仲裁裁决无效或被撤销，您可以根据相关法律规定和仲裁规则重新申请仲裁。在重新申请时，请确保遵守新的仲裁程序的各项要求，并提供充分的证据支持自己的主张。

六、投诉与举报

如果您发现仲裁员存在违法行为，如枉法裁判等，您可以向仲裁委员会投诉举报。仲裁委员会将进行查证，并可能解聘仲裁员。若仲裁员的行为涉嫌犯罪，您还有权向公安机关报案，依法追究其刑事责任。

七、寻求专业法律帮助

在整个过程中，我建议您及时咨询专业律师以获得准确的法律指导和建议。律师能够根据您的具体情况提供针对性的法律策略和诉讼方案，帮助您最大程度地维护自身权益。

总之，面对仲裁程序违法的情况，您应积极采取行动并通过多种途径来维护自身权益。同时，请严格遵守法律规定的程序和期限以确保自身权益得到有效保护。希望这些建议能对您有所帮助。