面对工厂拖欠工资且在调解后仍不支付的情况，您可以按照以下清晰、条理化的步骤来维护自己的合法权益：

一、再次尝试协商

1. 直接沟通：尽管之前可能已经尝试过协商，但不妨再次与工厂负责人或管理层进行直接沟通，明确表达您对工资支付的迫切需求，并了解他们拒绝支付的具体原因。
2. 书面协议：如果双方能达成新的支付协议，务必要求工厂出具书面协议，明确支付金额、支付时间和支付方式，以备后续维权之需。

二、向劳动监察部门投诉

1. 准备材料：收集并整理好所有与工资拖欠相关的证据，包括劳动合同、工资条、考勤记录、工作证、与工厂的沟通记录等。
2. 提交投诉：前往当地劳动监察部门（如人力资源和社会保障局）提交投诉材料，详细说明拖欠工资的情况，并提供相关证据。
3. 配合调查：劳动监察部门会对投诉进行调查核实，您应积极配合，提供必要的协助和信息。

三、申请劳动仲裁

1. 准备仲裁材料：如果劳动监察部门的处理未能解决问题，您可以向劳动争议仲裁委员会申请仲裁。需要准备的材料包括劳动仲裁申请书、证据材料（如上述所列）、身份证明等。
2. 提交申请：将准备好的仲裁材料提交至当地劳动争议仲裁委员会，并按照要求填写相关表格。
3. 参加仲裁庭审：在仲裁过程中，您应按时参加庭审，陈述事实，提供证据，维护自己的权益。仲裁庭将根据双方提供的证据作出裁决。

四、向法院提起诉讼

1. 申请强制执行：如果仲裁裁决支持了您的诉求，但工厂仍不履行支付义务，您可以在规定期限内向人民法院申请强制执行。
2. 提起民事诉讼：在某些情况下，如工厂出具了工资欠条且不涉及其他争议，您也可以直接向人民法院提起诉讼，要求工厂支付拖欠的工资及相应的赔偿。

五、寻求法律援助和工会帮助

1. 法律援助机构：如果您经济困难或符合法律援助条件，可以向当地的法律援助机构申请免费或低成本的法律服务，以获得更专业的法律建议和支持。
2. 工会组织：如果所在工厂有工会组织，您可以寻求工会的支持和帮助。工会通常会代表劳动者与用人单位进行协商，维护劳动者的合法权益。

六、注意事项

1. 了解法律法规：在维权过程中，您应熟悉《中华人民共和国劳动法》、《中华人民共和国劳动合同法》等相关法律法规，明确自己的权利和义务。
2. 注意时效问题：劳动仲裁的申请时效一般为一年，从您知道或者应当知道权利被侵害之日起计算。因此，请务必及时采取行动，避免因超过时效而丧失维权机会。
3. 保持冷静理性：在维权过程中，请保持冷静和理性，避免采取过激行为或言语攻击，以免对自己造成不利影响。

综上所述，面对工厂拖欠工资且在调解后仍不支付的情况，您应依法有序地采取相应措施，通过协商、投诉、仲裁和诉讼等途径来维护自己的合法权益。同时，也要注意证据的收集和保存，以及寻求必要的法律援助和支持。