针对催债过程中尾随债务人家属的行为，需明确以下几点处理原则和法律后果：

1. 尾随行为可能涉嫌违法
   根据《治安管理处罚法》第四十二条，多次发送侮辱、恐吓信息或跟踪、骚扰他人，可处五日以下拘留或五百元以下罚款；情节较重的，处五日以上十日以下拘留，可并处五百元以下罚款。若尾随行为伴随威胁、辱骂或限制人身自由，可能升级为《刑法》中的寻衅滋事罪或非法拘禁罪，需承担刑事责任。

2. 债务纠纷的合法解决途径

   • 协商与调解：优先通过书面协议明确还款计划，或通过第三方调解机构（如社区、人民调解委员会）促成和解。
     
   • 民事诉讼：若协商无果，可向法院提起民事诉讼，申请支付令或强制执行债务人财产。需注意：诉讼时效为三年，自约定还款日起算。
     
   • 避免非法手段：切勿通过威胁、骚扰、泄露隐私等非法方式催债，否则可能面临行政处罚或刑事指控，且无法通过法律途径主张债权。

3. 债务人家属的权益保护

   • 报警处理：若家属遭受尾随、骚扰，应立即报警并保留证据（如监控录像、通话记录、证人证言）。
     
   • 申请人身安全保护令：根据《反家庭暴力法》，家属可向法院申请人身安全保护令，禁止催债人接近、跟踪或骚扰。
     
   • 追究侵权责任：若尾随行为导致家属精神损害或财产损失，可提起民事侵权诉讼，要求赔偿。

4. 催债人的合规建议

   • 限制接触范围：仅可与债务人本人沟通，避免联系其家属、朋友或工作单位。
     
   • 保留证据：通过书面催款函、短信、邮件等方式留存催债记录，证明已履行合法告知义务。
     
   • 委托专业机构：若债务人拒不配合，可委托律师事务所或合法催收机构，通过法律途径追讨债务。

总结：尾随债务人家属不仅无法有效解决债务问题，还可能触犯法律。建议通过协商、诉讼等合法途径主张债权，同时尊重债务人及其家属的合法权益。若您或家属正遭遇此类困扰，可进一步向我描述具体细节，我将为您提供针对性的法律建议。