工厂跟个人签订的三方返佣协议，其合法性需根据具体情况来判断。下面我将从几个方面进行详细分析：

1. 协议内容的合法性：

   • 三方返佣协议本质上是一种合同，其合法性首先取决于合同内容是否违反法律法规的强制性规定。
   • 如果协议中约定的返佣条件、金额、支付方式等条款均符合法律法规的要求，且不存在欺诈、胁迫等违法情形，那么该协议在内容上是合法的。

2. 协议主体的合法性：

   • 工厂作为一方主体，需要确保其具有合法的经营资质和用工权利。
   • 个人作为另一方主体，需要确保其具有完全民事行为能力，能够独立承担民事责任。
   • 第三方主体（如果有的话）也需要具备相应的合法资质。

3. 协议签订过程的合法性：

   • 协议的签订应当遵循自愿、平等、公平、诚实信用的原则。
   • 如果协议是在欺诈、胁迫或者乘人之危等情况下签订的，那么该协议可能因违法而无效。

4. 返佣的合法性：

   • 返佣作为一种激励机制，本身并不违法。但是，如果返佣的金额或方式违反了相关法律法规（如劳动法、税收法规等），那么该返佣行为可能构成违法。
   • 例如，如果工厂通过返佣的方式逃避税收或违反劳动法规定的工资支付义务，那么该返佣行为就是违法的。

综上所述，工厂跟个人签订的三方返佣协议是否合法，需要综合考虑协议内容、主体、签订过程以及返佣的合法性等多个方面。如果协议在各个方面均符合法律法规的要求，那么该协议就是合法的。反之，如果协议存在违法情形，那么该协议可能因违法而无效。因此，在签订此类协议时，建议各方主体务必谨慎审查协议内容，确保协议的合法性。如有任何疑问或需要进一步的法律咨询，请直接向我提问。