行政机关行为违法，确实可以向上级监督自查，但这只是监督途径之一，并非唯一途径。以下从多个角度对此问题进行详细分析：
一、向上级行政机关监督自查
法律依据：
- 根据《中华人民共和国行政复议法》的相关规定，公民、法人或者其他组织认为行政机关的具体行政行为侵犯其合法权益的，可以向上一级行政机关或者法律、法规规定的行政机关申请行政复议。这实际上就是一种向上级行政机关监督自查的途径。
操作流程：
- 当事人应在知道行政机关行为违法之日起一定期限内（通常是60日内，但具体期限可能因地区或具体法规而异），向上一级行政机关提出行政复议申请。
- 上一级行政机关在收到申请后，会进行审查，并作出是否受理的决定。
- 如果受理，行政机关将进行复议审查，并作出复议决定。
效果与限制：
- 向上级行政机关监督自查具有相对快捷、成本较低的优点。
- 但其效果可能受到上级行政机关与下级行政机关之间关系的影响，有时可能难以保证完全公正。
二、其他监督途径
行政诉讼：
- 当事人也可以直接向人民法院提起行政诉讼，要求法院对行政机关的违法行政行为进行审查并作出判决。
- 行政诉讼具有更高的公正性和权威性，但程序相对复杂，成本也较高。
信访途径：
- 当事人还可以通过信访途径向相关部门反映行政机关的违法行政行为。
- 信访部门在收到信访事项后，会进行调查处理，并给出答复。
监察机关监督：
- 根据《中华人民共和国监察法》的规定，监察机关对所有行使公权力的公职人员进行监察，调查职务违法和职务犯罪。
- 如果行政机关的行为构成职务违法或职务犯罪，监察机关将依法进行调查处理。
三、建议与注意事项
选择合适的监督途径：
- 当事人应根据具体情况选择合适的监督途径。如果认为行政机关的行为违法且情节较轻，可以先尝试向上级行政机关监督自查；如果认为情节严重或向上级行政机关监督自查无果，可以考虑提起行政诉讼或通过其他途径进行监督。
保留证据：
- 无论选择哪种监督途径，当事人都应尽可能保留相关证据，如行政机关的书面决定、通知、公告等，以便在监督过程中证明自己的主张。
遵守法律程序：
- 当事人在进行监督时，应遵守相关法律程序，如申请行政复议的期限、提起行政诉讼的管辖等，以免因程序问题而影响监督效果。
综上所述，行政机关行为违法时，当事人可以向上级行政机关监督自查，但也可以考虑通过行政诉讼、信访途径或监察机关监督等其他途径进行监督。如有具体法律问题或需要进一步的法律帮助，请直接向我咨询。