当您认为政府行为违法时，可以通过以下途径来维护自己的合法权益：
一、初步了解与内部沟通
- 了解政府行为：首先，您需要仔细了解该政府行为的具体内容，包括其依据的法律法规、实施程序等，明确其违法之处。
- 内部沟通：尝试与作出该政府行为的行政机关进行沟通，表达您的疑虑和诉求，看是否能通过内部解决机制纠正问题。这一步骤适用于问题相对简单，且有望通过行政机关自行纠错的情况。
二、内部监督途径
向行政机关申诉：
- 方式：您可以以书面或口头形式向相关行政机关反映问题。书面申诉需详述政府行为的违法情况、个人诉求及事实依据；口头申诉则需清晰表达要点，并可能后续提交书面材料。
- 适用情形：对政府行为的合法性有疑问，但问题不太复杂，希望行政机关自我纠正。
行政复议：
- 定义与申请条件：若您认为具体政府行为侵犯了您的合法权益，可在知道该行为之日起六十日内（法律另有规定的除外）提出行政复议申请。
- 申请方式：可书面或口头申请。书面申请需递交行政复议申请书；口头申请则由行政复议机关当场记录。
- 受理机关：通常向作出具体政府行为的行政机关的上一级主管部门或本级人民政府申请。
- 审查与处理：复议机关将全面审查政府行为的程序合法性。若发现程序违法，可作出撤销、变更或确认违法的决定，并可责令重新作出合法行为。
三、司法救济途径
行政诉讼：
- 适用范围：针对行政机关及其工作人员的违法行为，您有权依法向人民法院提起诉讼，包括具体政府行为和部分抽象政府行为。
- 起诉期限：直接起诉应在知道或应当知道政府行为之日起六个月内（法律另有规定的除外）；经行政复议后再起诉的，应在收到复议决定书之日起十五日内提起。
- 起诉流程：撰写行政起诉状，明确原被告信息、诉讼请求及事实和理由，然后向有管辖权的人民法院提交起诉状和相关证据。
- 审理与判决：法院依法审理案件，通过审查证据、听取陈述和辩论等环节判断政府行为是否违法。若认定违法，可根据情况作出撤销、确认违法等判决。若政府行为违法导致损失，法院还可判决行政机关承担赔偿责任。
要求行政赔偿：
- 适用条件：行政机关的违法政府行为给您造成损害时，如违法查封、扣押、冻结财产导致损失，或违法使用武器、警械造成伤害等。
- 赔偿程序：您可先向赔偿义务机关提出赔偿申请，或在申请行政复议、提起行政诉讼时一并提出赔偿请求。赔偿义务机关应在两个月内作出是否赔偿的决定。若不服决定或逾期不予赔偿，您可在期限届满之日起三个月内向人民法院提起诉讼。
四、其他监督途径
向监察机关检举控告：
- 适用情形：若政府行为违法涉及行政机关工作人员的违法违纪行为，如贪污受贿、滥用职权等，您可向监察机关检举控告。
- 举报方式：可通过来信、来访、电话、网络等多种方式反映问题。
借助媒体和社会监督：
- 具体做法：在确保诉求合理合法的前提下，您可通过合法媒体渠道曝光政府行为违法现象，引起社会关注。
- 作用：社会舆论的压力可能促使行政机关重视并及时处理问题，同时增强公众对政府行为合法性的监督。
在处理政府行为违法问题时，建议您注意以下几点：
- 保留证据：务必保留好所有与违法行为有关的证据材料，如行政决定书、送达回执、沟通记录、现场照片或视频等，以便在需要时进行举证和维权。
- 咨询专业：虽然我提供了上述建议，但每个案件的具体情况都有所不同。因此，在处理实际问题时，您可能还需要根据具体情况咨询我，以获取更具体的法律建议和帮助。
- 合法维权：在维权过程中，请确保自身行为的合法性和合理性，避免采取过激或违法的行为来维护自己的权益。
希望以上建议能对您有所帮助。如果您在处理政府行为违法问题时遇到任何疑问或需要进一步的法律帮助，请随时向我咨询。