当甲方未按合同支付工程款时，作为乙方（施工方或承包方），您可以采取以下一系列措施来维护自身的合法权益。以下是一个详细且有条理的处理流程：
一、明确合同条款与准备证据
查阅合同：首先，仔细查阅与甲方签订的合同，特别是关于工程款项支付、违约责任及争议解决等关键条款。这有助于您明确自身的权利基础以及甲方应履行的付款义务。
整理证据：同时，整理好以下证据资料，包括但不限于已完成的工程量证明、工程验收报告及结算单、甲方拖欠工程款的具体金额和时间记录、双方往来通信记录（如邮件、短信、微信聊天记录等）以及其他相关证据（如发票、付款凭证等）。这些证据将是后续采取行动的重要依据。
二、优先尝试沟通与协商
直接沟通：通过面对面或电话会议等方式，与甲方进行友好协商。明确指出合同约定的付款条件已达成，询问甲方不支付的原因，并要求其按约支付。沟通过程中应保持冷静理性，并做好记录。
函件催告：若直接沟通无果，可向甲方发送书面函件进行正式催告。函件中应详细列明合同信息、欠款金额、付款期限及逾期后果，并通过可靠方式（如EMS）寄送，保留好寄送凭证。
三、寻求第三方调解与协助
行业协会调解：若双方在同一行业领域，可向相关行业协会或商会申请调解。行业协会熟悉行业惯例，可能有助于促成和解。
专业调解机构：选择有信誉的第三方调解机构进行调解。这些机构通常具有中立性和专业性，能够提出合理的解决方案。
政府相关部门投诉：向当地建设行政主管部门反映甲方拖欠工程款的情况，请求其介入协调。政府部门的介入可能对甲方形成一定的压力。
四、采取法律手段维护权益
申请仲裁（如有仲裁协议）：如果双方在合同中约定了仲裁条款，您可以向约定的仲裁委员会申请仲裁。仲裁程序相对灵活高效，且裁决具有终局性。
提起诉讼：如果没有仲裁条款或仲裁不成，您可以向有管辖权的人民法院提起诉讼。在诉讼前，请确保准备好充分证据，并遵循法院程序进行。
申请财产保全：为防止甲方转移财产导致判决难以执行，您可以在起诉前或诉讼过程中向法院申请财产保全，冻结甲方的银行账户、查封其财产等。
执行判决：获得胜诉判决后，如果甲方仍不履行支付义务，您可以申请法院强制执行，通过拍卖甲方财产等方式实现债权。
五、预防与总结
加强合同约定：为预防类似问题再次发生，您应在未来合同中加强工程款支付的约定，明确违约责任和争议解决方式。
关注甲方动态：密切关注甲方的财务状况和经营动态，及时发现并应对潜在风险。
寻求专业支持：在处理此类纠纷时，建议咨询专业的建筑工程律师，获取针对性的法律意见和支持，确保自身权益得到最大程度的保护。
综上所述，面对甲方未按合同支付工程款的问题，您应综合运用沟通协商、第三方调解、法律手段等多种方式来维护自身合法权益。同时，加强合同约定和关注甲方动态也是预防类似问题再次发生的重要措施。