结论：在厂房项目竣工验收前甲方私自加建设备用房的情况下，监理应采取以下措施进行处理：

1. 立即制止并发出书面通知：

   • 监理在发现甲方私自加建设备用房的行为后，应立即口头制止，并随后发出书面通知，明确指出该行为违反了合同约定及相关法律法规，要求甲方立即停止施工，并恢复原状或按照合法程序进行变更申请。

2. 审查变更程序与合法性：

   • 监理应要求甲方提供加建设备用房的变更申请及相关审批文件，审查其是否符合项目规划、设计变更以及施工许可等法定程序。若甲方未能提供合法手续，监理应坚持要求其停止施工，并上报相关部门。

3. 评估影响并调整监理计划：

   • 监理需评估私自加建行为对原项目进度、质量、安全等方面的影响，并根据实际情况调整监理计划，确保项目整体不受过大干扰。同时，监理应加强对加建部分的监督，确保其符合相关标准和规范。

4. 记录并报告违规行为：

   • 监理应详细记录甲方私自加建的行为，包括时间、地点、加建内容等，并形成书面报告。若甲方拒不改正，监理应及时向建设单位、相关部门报告，并建议采取进一步的法律措施。

5. 参与后续处理与协调：

   • 在甲方停止私自加建行为后，监理应参与后续的处理工作，如协调甲方与设计单位、施工单位等就加建部分进行合法合规的变更设计、施工等。同时，监理应确保加建部分与原项目整体协调一致，满足使用功能和安全要求。

分析说明：

• 监理在项目建设中扮演着重要的监督和管理角色，对于甲方的违规行为，监理有责任及时制止并上报，以确保项目的合法性和合规性。
• 甲方私自加建设备用房可能涉及规划变更、设计变更以及施工许可等多方面的法律问题，监理需从多个角度进行审查和评估。
• 监理在处理此类问题时，应保持客观公正的态度，既要维护项目的整体利益，也要保护甲方的合法权益，通过合法合规的途径解决问题。