在耕地上建房或建厂房，若想要使其合法化，确实需要遵循一系列严格的法律法规和程序。以下是我为您整理的详细步骤和法律要求，希望能帮助您更好地理解和操作：

一、了解并遵守相关法律法规

首先，您必须深入了解《土地管理法》、《城乡规划法》以及您所在地区的地方性法规或政策。这些法规对土地使用、规划和建筑有着明确的规定，是您进行任何建设活动的基础。

二、核实土地性质与用途

耕地通常属于农用地，主要用于农业生产。如果您想在耕地上建房或建厂房，必须确认该耕地是否允许进行建设。这通常需要您向当地自然资源主管部门查询土地利用总体规划，了解该地块是否已被规划为允许建设的用地范围。

三、申请土地使用权变更（农用地转用审批）

1. 如果耕地不属于永久基本农田，且建房或建厂房行为符合土地利用总体规划、村庄规划等：

   • 您可以向当地自然资源主管部门提出农用地转用申请。
   • 审批通过后，您还需要完善其他建房或建厂房手续，如取得乡村建设规划许可证、建设工程规划许可证等。

2. 如果建设的房屋或厂房为农业生产配套设施，如养殖舍、仓库等，且符合设施农业用地规定：

   • 您应拟定设施建设方案，与农村集体经济组织签订用地协议。
   • 报乡镇政府备案后，方可进行建设。

四、补充耕地与费用缴纳（如适用）

根据“占多少，垦多少”的原则，如果您占用了耕地进行建设，可能需要开垦与所占用耕地数量和质量相当的耕地。如果无法开垦或开垦不符合要求，您可能需要按省、自治区、直辖市的规定缴纳耕地开垦费，用于开垦新耕地。

五、办理建设审批手续

获得土地使用权变更批准后，您需要按照当地规定办理建设项目审批手续。这可能包括提交建筑设计图纸、申请施工许可证、进行环保验收等。确保您的建设活动符合所有相关的建筑规范和安全标准。

六、处理不符合规划要求的情况

如果您的建房或建厂房行为占用了永久基本农田或不符合土地利用总体规划和村庄规划，那么通常无法合法化。在这种情况下，您可能需要自行拆除房屋或厂房，恢复耕地原状，并可能面临罚款或刑事责任。不过，部分地区可能对不符合规定但符合一定条件的违法建房行为进行处罚后允许保留房屋或厂房，但具体以当地规定为准，并可能需要缴纳罚款、补办相关手续。

七、接受监管和检查，咨询专业人士

在整个建设和使用过程中，您应接受政府相关部门的监管和检查，并保持开放合作的态度。鉴于土地和建设法规的复杂性，我强烈建议您咨询专业律师或规划师，以获得具体的法律建议和指导，避免潜在的法律风险。

总之，在耕地上建房或建厂房是一个复杂且严格受法律监管的过程。为了确保您的项目的合法性和可持续性，我建议您在开始前就进行充分的调查和准备，并严格按照法定程序和要求进行操作。