当厂房租赁到期而租户不肯搬走时，这确实是一个需要谨慎处理的问题。作为出租方，您需要依法、有序地采取一系列措施来维护自己的合法权益。以下是我为您整理的综合处理建议：
一、初步沟通与协商
了解原因：
- 首先，尝试与租户进行面对面的沟通，了解他们不搬走的具体原因。可能是他们有续租的意愿但尚未达成协议，或者是搬迁过程中遇到了实际困难。
协商解决方案：
- 根据租户的反馈，您可以与他们协商解决方案。例如，如果他们有续租的意愿，您可以考虑与他们续签租赁合同；如果他们搬迁有困难，您可以考虑给予一定的宽限期，但需明确宽限期的截止时间及费用标准。
二、发送书面通知
正式通知：
- 如果协商无果，您应正式向租户发出书面通知，明确提醒租赁期限已到，并要求他们在合理期限内（如3-5天或根据实际情况确定）搬离并腾空厂房。
通知内容：
- 通知中应包含搬离期限、逾期未搬离的违约责任以及法律后果提示。确保通知内容清晰、明确，并保留好通知的发送记录，如通过邮政特快专递（EMS）发送，并保留快递单据及送达回执作为证据。
三、采取法律措施
发送律师函：
- 如果书面通知后租户仍未搬离，您可以考虑委托律师发送律师函。律师函将明确告知租户其行为构成违约，并要求他们限期搬离及承担由此造成的损失。
提起诉讼：
- 如果租户在律师函规定的期限内仍未搬离，您可以向有管辖权的人民法院提起诉讼。在提起诉讼前，请确保您已准备好充分的证据，如租赁合同、租金支付记录、书面通知、律师函及送达凭证、厂房现状照片等。
强制执行：
- 如果法院判决您胜诉，而租户仍拒不执行，您可以向法院申请强制执行。法院将强制将租户清出厂房，并要求他们承担相关费用及赔偿损失。
四、财物处理
限期清理：
- 在要求租户搬离的通知中，明确告知他们限期清理财物。如果租户逾期未清理，您可以在第三方见证下对财物进行清点、登记和保管。
通知领取：
- 清点、登记和保管财物后，通知租户在一定期限内前来领取。保管费用应由租户承担。
依法处置：
- 如果租户长时间不来领取财物，在符合法律规定的条件下，您可以依法对财物进行处置。
五、注意事项
遵守法律法规：
- 在整个处理过程中，请确保您始终遵守法律法规，不得采取非法手段迫使租户搬离。
证据保全：
- 所有沟通过程均需留存书面或视听证据，以备不时之需。
专业咨询：
- 如果情况复杂或您不确定如何处理，建议及时委托律师介入处理，以确保您的权益得到有效维护。
综上所述，处理厂房租赁到期租户不肯搬走的问题需要依法依规、有理有据地进行。通过沟通协商、发送书面通知、采取法律措施以及妥善处理财物等步骤，您可以有效维护自己的合法权益。