针对您提出的“违规厂房历史建成怎么处理”的问题，这是一个涉及城乡规划、土地管理以及法律法规的复杂议题。以下是我为您提供的详细解答：
一、明确违法事实及调查认定
首先，需要由城乡规划主管部门、城市管理综合执法部门或乡镇人民政府等具有相关执法权的部门，对违规厂房进行详细的调查。调查内容包括厂房的建设时间、地点、规模、用途，以及是否取得了建设工程规划许可证或乡村建设规划许可证等。通过现场勘查、拍照、录像等方式，收集充分证据，以确认厂房是否属于违法建筑。
二、根据违规情况分类处理
尚可采取改正措施的情况：
- 如果违规厂房的建设未取得建设工程规划许可证或未按许可证规定进行，但尚可采取改正措施消除对规划实施的影响，那么相关部门会责令停止建设，并限期改正。同时，可能会处以建设工程造价百分之五以上百分之十以下的罚款。
无法采取改正措施且不能拆除的情况：
- 如果违规厂房无法通过改正措施符合规划要求，且不能拆除（例如，拆除后可能影响相邻建筑的安全或公共利益），那么相关部门可能会决定没收该厂房及其违法收入，并可并处建设工程造价百分之十以下的罚款。
必须拆除的情况：
- 如果违规厂房严重违反土地利用总体规划或城乡规划，无法通过改正措施符合规划要求，那么相关部门会作出限期拆除的决定。若当事人在法定期限内既不申请复议或诉讼，又不拆除的，行政机关可依法强制拆除。
三、处理程序与法律救济
处理程序：
- 相关部门在调查取证后，会向当事人发出限期自行拆除的决定书或其他相应决定书，明确期限和要求。
- 若当事人不停止建设或者逾期不拆除的，由县级以上地方人民政府责成有关部门采取查封施工现场、强制拆除等措施。
法律救济：
- 当事人对限期拆除决定不服的，可在规定期限内申请行政复议或提起行政诉讼，以维护自己的合法权益。
四、加强监管与预防
- 为防止类似违规厂房的出现，相关部门应加强日常监管和巡查力度，及时发现并制止违法行为。
- 同时，通过宣传教育提高公众的法律意识和遵守规划的意识，形成全社会共同打击违法建筑行为的良好氛围。
五、特殊情况处理
- 对于历史遗留的违规厂房，如果其建设时间较早，且在当时并未明确违反相关法律法规或规划要求，那么相关部门在处理时可能会考虑其历史背景和实际情况，采取更为灵活和人性化的处理方式。
综上所述，对于已经建成的违规厂房，其处理方式需严格依据相关法律法规进行，并根据违规厂房的实际情况综合考虑。在处理过程中，既要维护城乡规划的严肃性和权威性，也要注意保护当事人的合法权益。如果您对具体处理流程或法律法规有进一步疑问，建议咨询当地城乡规划主管部门或法律专业人士。