如果认为劳动仲裁送达程序不合法，您可以采取以下措施来维护自己的合法权益：
提出异议：
- 在仲裁过程中，如果您发现送达程序存在不合法之处，如未按照法定方式送达、送达地址错误或未给予足够的送达时间等，您可以立即向仲裁委员会提出异议。
- 提出异议时，应明确指出送达程序的具体违法之处，并提供相关证据予以证明。
申请撤销仲裁裁决：
- 如果仲裁裁决已经作出，且您认为送达程序的违法性影响了仲裁裁决的效力，您可以根据《劳动争议调解仲裁法》等相关规定，向具备管辖权的人民法院提起诉讼，请求撤销仲裁裁决。
- 在诉讼过程中，您需要充分举证证明送达程序的违法性，以及该违法性对仲裁裁决效力的影响。
重新送达与重新仲裁：
- 对于被申请人来说，如果认为送达程序不合法，可以要求仲裁委员会重新依照法律规定送达相关文书，并重新开展仲裁程序中的相应环节。
- 这有助于保障被申请人在仲裁程序中的参与权、答辩权等合法权益，确保仲裁程序的公正性与合法性。
在处理此类问题时，建议您保持冷静，及时收集并保存相关证据，以便在需要时提供有力的支持。同时，您也可以咨询像我这样的专业律师，以获取更具体的法律建议和帮助。