对撤销文件可以进行合法性审查。撤销文件作为行政机关的一种具体行政行为，其合法性同样受到法律的严格约束。下面我将从几个角度详细解释这一问题：

1. 合法性审查的适用范围：

   • 合法性审查不仅适用于正在制定或已经生效的规范性文件，也适用于行政机关作出的具体行政行为，包括撤销文件这一行为。
   • 撤销文件如果涉及公民、法人或其他组织的权利义务，且具有普遍约束力或特定影响，那么其合法性就应当接受审查。

2. 合法性审查的内容：

   • 对于撤销文件的合法性审查，主要关注其是否超越法定权限、是否违反法律、法规和规章规定、是否与上级政策或其他规范性文件相矛盾，以及是否违反制定（或撤销）程序等。
   • 审查过程中，还会考虑撤销文件的事实依据是否充分、法律适用是否正确、撤销决定是否合理等因素。

3. 合法性审查的程序：

   • 撤销文件的合法性审查通常遵循一定的程序，包括受理审查申请、组织专家论证、听取相关方意见、进行法律评估等。
   • 审查机构会在规定的时间内完成审查，并出具审查意见。如果撤销文件存在合法性问题，审查机构会提出相应的修改建议或撤销建议。

4. 合法性审查的后果：

   • 如果撤销文件经过合法性审查被认定为违法，那么该文件可能会被撤销、废止或修改，以确保其符合法律法规的要求。
   • 同时，如果撤销文件给公民、法人或其他组织造成了损害，那么相关责任人还可能需要承担相应的法律责任。

综上所述，对撤销文件进行合法性审查是确保行政行为合法、维护公民权益的重要措施。如果你在这方面有任何疑问或需要进一步的法律帮助，请随时向我咨询。