面对工厂拖欠中介工资的情况，你可以依次采取以下合法途径来维护自己的权益：

一、收集并保留证据

首先，务必收集并保留好所有与工资相关的证据，这是后续维权的基础。这些证据包括但不限于：

• 劳务合同或协议：证明你与中介之间的劳动关系及工资约定。
• 工资条或转账记录：显示中介应支付及实际支付的工资情况。
• 考勤记录或工作证：证明你的工作时长和出勤情况。
• 与中介的聊天记录或通话录音：记录你与中介就工资问题的沟通情况，特别是中介承认拖欠工资的部分。

二、与中介协商

在收集好证据后，你可以尝试与中介进行协商，要求其按约定支付工资。在协商过程中，保持冷静和理性，明确说明你的诉求和依据。如果协商成功，最好让中介出具书面的还款计划或承诺书，并签字盖章，以作为后续维权的证据。

三、向劳动监察部门投诉

如果协商无果，你可以向当地的劳动监察部门投诉。投诉时，需要携带上述收集的证据材料，并填写投诉表格，详细说明中介拖欠工资的情况。劳动监察部门将依法进行调查处理，并可能责令中介限期支付工资。如果中介逾期不支付，劳动监察部门还可以依法加付赔偿金。

投诉流程：

1. 前往当地劳动监察大队或拨打劳动保障监察投诉举报电话12333进行投诉。
2. 提交投诉材料，包括身份证明、证据材料等。
3. 等待劳动监察部门的调查处理结果。

四、申请劳动仲裁

如果投诉后问题仍未解决，你可以向当地的劳动争议仲裁委员会申请劳动仲裁。劳动仲裁是一种相对快速、有效的解决劳动争议的方式。在申请劳动仲裁时，你需要提交仲裁申请书及相关证据材料，并等待仲裁委员会的受理和审理。

仲裁流程：

1. 准备仲裁申请书，详细说明仲裁请求、事实和理由。
2. 携带相关证据材料（如劳动合同、工资支付凭证、考勤记录等）提交申请。
3. 劳动争议仲裁委员会受理申请后，将安排开庭审理。在庭审过程中，提供证据支持自己的主张。
4. 仲裁委员会根据双方证据和陈述作出仲裁裁决。对裁决不服者，可在规定期限内向人民法院提起诉讼。

五、向法院提起诉讼

如果劳动仲裁无法解决问题或你对仲裁结果不满意，你可以向有管辖权的人民法院提起诉讼。在诉讼过程中，你需要提供充分的证据来支持自己的诉求，并遵循民事诉讼程序进行。法院将依法作出判决，并要求中介履行支付工资的义务。如果中介不履行判决，你还可以向法院申请强制执行。

诉讼流程：

1. 撰写起诉状，明确诉讼请求和事实理由。
2. 提交起诉状及相关证据材料至法院。
3. 法院受理案件后，安排开庭审理。积极配合法院工作，按要求提供证据和参加庭审。
4. 法院根据审理情况作出判决。若中介不履行判决，可向法院申请强制执行。

六、寻求法律援助

在整个维权过程中，如果你对法律程序不熟悉或经济困难，可以向当地的法律援助机构申请法律援助。法律援助机构将为你提供专业的法律咨询和代理服务，帮助你更好地维护自己的权益。

总结与建议：

面对工厂拖欠中介工资的问题，你应保持冷静和理性，积极采取行动来维护自己的权益。在整个过程中，务必注重证据的收集和保留，以便在维权过程中提供有力的支持。同时，你也可以考虑寻求专业律师的帮助，以确保自己的权益得到充分保护。如果你有任何疑问或需要进一步的法律帮助，请随时向我咨询。