当您通过中介进入工厂工作却遭遇工资拖欠时，可以按照以下步骤来维护自己的合法权益：

一、保留相关证据

首先，您需要收集和保留所有能证明您与中介存在劳动关系以及工资拖欠情况的证据。这些证据包括但不限于：

• 劳动合同：与中介签订的书面劳动合同，这是证明劳动关系最直接的证据。
• 工资条或工资发放记录：显示您应得工资和实际发放工资的记录。
• 工作证、考勤记录：证明您在工厂工作的时间和出勤情况。
• 沟通记录：与中介就工资问题进行的沟通记录，如聊天记录、通话录音等。

二、与中介协商

在掌握了足够的证据后，您可以尝试与中介进行协商，明确要求其支付拖欠的工资，并告知其逾期支付的后果。在协商过程中，注意留存协商记录，以便后续维权使用。

三、向劳动监察部门投诉

如果协商无果，您可以向当地的劳动监察部门投诉。投诉时，您需要携带身份证明、劳动合同、工资条等证据，向劳动监察部门详细说明情况。劳动监察部门有权对用人单位的工资支付情况进行监督检查，并责令其限期支付工资。如果中介逾期不支付，劳动监察部门还可以责令其加付赔偿金。

四、申请劳动仲裁

如果劳动监察部门无法有效解决问题，或者您对劳动监察部门的处理结果不满意，您可以在知道或应当知道权利受侵害之日起一年内，向劳动争议仲裁委员会申请仲裁。申请仲裁时，您需要准备仲裁申请书、证据材料等。仲裁委员会会根据相关法律法规作出裁决，要求中介支付拖欠的工资及相应经济补偿。

五、提起诉讼

如果您对仲裁结果不服，除法律另有规定外，您可以在收到仲裁裁决书之日起十五日内向人民法院提起诉讼。通过司法途径，您可以进一步维护自己的合法权益。

六、注意事项

• 及时行动：一旦发现工资被拖欠，应尽快采取行动，避免拖延导致证据灭失等不利情况。
• 合法途径：在整个维权过程中，务必通过合法途径进行，避免采取过激行为导致不必要的法律后果。
• 保持冷静：面对工资拖欠问题，保持冷静和理性，通过合理的方式表达自己的诉求。

希望以上建议能帮助您成功维护自己的合法权益。如果您在维权过程中遇到任何难题或需要进一步的帮助，请随时咨询相关部门或专业人士。