公民科学素质纲要实施方案在制定过程中，确实需要进行合法性审查。以下是对这一问题的详细解答：

首先，从政策制定的必要性角度来看，公民科学素质纲要实施方案的制定往往是为了贯彻上级政府的明确要求，并满足公众对高质量科普的需求。在制定过程中，为了确保方案的合法性和合规性，避免与上位法或其他相关政策产生冲突，进行合法性审查是必不可少的环节。

其次，以具体案例为例，如《辰溪县全民科学素质行动规划纲要实施方案(2021-2025年)》的制定过程中，就明确包括了合法性审查阶段。辰溪县科学技术协会在起草完方案送审稿后，将其送至县司法局进行合法性审查。这一步骤确保了方案在内容上符合法律法规的要求，为后续的实施提供了法律保障。

再者，合法性审查不仅是对方案内容的审查，还包括对方案制定程序的审查。这有助于确保方案的制定过程公开、透明、合法，符合行政程序的要求。通过合法性审查，可以及时发现并纠正方案中可能存在的问题，提高方案的质量和可行性。

此外，从更广泛的角度来看，任何涉及公众利益、需要政府推动实施的方案或政策，在制定过程中都应该进行合法性审查。这不仅是政府依法行政的基本要求，也是保障公众权益、维护社会稳定的重要举措。

综上所述，公民科学素质纲要实施方案在制定过程中确实需要进行合法性审查。这一步骤有助于确保方案的合法性和合规性，为后续的实施提供法律保障，并促进科普事业的健康发展。