当行政程序违法并造成损失时，您可以通过以下途径来维护自己的合法权益，并寻求相应的处理与赔偿：
一、确认行政程序违法的具体情形
首先，需要明确行政程序违法的具体表现，这包括但不限于：
- 步骤违法：行政机关未按照法律规定的先后顺序实施行政行为。
- 方式违法：行政机关未采用法律要求的特定形式，如应当书面通知却口头告知。
- 顺序违法：行政机关颠倒了法定的审批流程。
- 时限违法：行政机关超过了法律规定的办理期限。
二、选择适当的救济途径
行政复议
- 申请与受理：您可以在知道行政行为之日起六十日内（法律另有规定除外）向有权机关提出复议申请。复议申请书应详细说明行政程序违法的具体情况及您的诉求。
- 审查与处理：复议机关将全面审查行政行为的程序合法性。若发现程序违法，复议机关可作出撤销、变更或确认违法的决定，并可责令行政机关重新作出合法行为。
行政诉讼
- 起诉条件：如果您认为行政行为侵犯了您的合法权益，可以在知道或应当知道行为之日起六个月内（法律另有规定除外）向法院提起行政诉讼。起诉状需明确指出程序违法事实、法律依据及诉讼请求。
- 审理与判决：法院将依法审理案件，通过审查证据、听取陈述和辩论等环节判断程序是否违法。若认定违法，法院可根据情况作出撤销、确认违法等判决。若程序违法导致您遭受损失，法院还可判决行政机关承担赔偿责任。
向行政机关内部监督部门反映
- 您也可以向作出行政行为的机关的上级主管部门或内部监督机构（如法制科）投诉举报程序违法问题，并提供书面材料及相关证据。
- 监督部门收到投诉后应展开调查，查证属实后依据内部管理规定处理责任人员，并要求纠正违法行为。
三、了解可能的处理结果与法律责任
- 撤销或部分撤销行政行为：若程序违法导致实体决定不公或影响您的权益，法院或复议机关可判决撤销该行政行为。
- 确认违法但保留效力：在某些情况下，如撤销会给国家利益或公共利益造成重大损失时，法院或复议机关会确认行为违法但维持其效力。
- 责令履行职责：对程序不作为的机关，法院或复议机关可要求其限期履行义务。
- 赔偿损失：若程序违法造成您财产损失，行政机关须承担赔偿责任。赔偿范围通常包括直接损失和合理的间接损失。
- 行政机关工作人员的法律责任：行政机关工作人员因滥用职权、玩忽职守等导致程序违法的，可能面临行政处分甚至刑事责任。
四、收集与保存证据
在处理行政程序违法问题时，证据是至关重要的。您应收集并保存相关证据，如行政决定书、送达回执、沟通记录、现场照片或视频等，以维护自身权益。
五、寻求专业法律帮助
由于行政程序违法问题可能涉及复杂的法律条款和程序，建议您在遇到此类问题时及时咨询专业律师以获取更具体的法律建议和帮助。律师可以为您提供专业的法律意见，指导您如何收集证据、选择救济途径以及准备诉讼材料等。
综上所述，当行政程序违法并造成损失时，您可以通过行政复议、行政诉讼等法律途径寻求救济，并要求行政机关承担相应的法律责任。同时，您也应积极收集与保存证据，并考虑寻求专业法律帮助以更好地维护自己的合法权益。