子公司欠工资，劳动者可以采取以下措施来维护自己的合法权益：
与子公司协商：
- 首先，劳动者可以尝试与子公司进行友好协商，了解欠薪的具体原因，并要求子公司尽快支付拖欠的工资。在协商过程中，劳动者可以保留好相关的沟通记录，如邮件、短信或录音等，以备后续使用。
向劳动监察部门投诉：
- 如果协商无果，劳动者可以向当地的劳动监察部门投诉。劳动监察部门有权对用人单位的违法行为进行调查，并要求用人单位限期支付拖欠的工资。在投诉时，劳动者需要提供相关的证据材料，如劳动合同、工资条、考勤记录等，以证明自己的权益受到了侵害。
申请劳动仲裁：
- 如果劳动监察部门的处理结果未能满足劳动者的诉求，或者子公司拒绝执行劳动监察部门的决定，劳动者可以向当地的劳动仲裁委员会申请劳动仲裁。劳动仲裁委员会将依法对争议进行裁决，并要求用人单位支付拖欠的工资及可能的赔偿金。在申请劳动仲裁时，劳动者需要提交仲裁申请书及相关证据材料。
提起诉讼：
- 如果劳动仲裁结果仍未能解决问题，或者劳动者对仲裁结果不满意，劳动者可以向人民法院提起诉讼。在诉讼过程中，劳动者需要提供充分的证据来证明自己的诉求，并接受法院的审理和判决。如果法院判决子公司支付拖欠的工资，子公司必须履行判决，否则劳动者可以申请强制执行。
在处理子公司欠薪问题时，劳动者还需要注意以下几点：
- 保留好相关证据：无论是协商、投诉、仲裁还是诉讼，劳动者都需要提供充分的证据来证明自己的权益受到了侵害。因此，劳动者在日常工作中应该注意保留好劳动合同、工资条、考勤记录等相关证据材料。
- 了解相关法律法规：劳动者应该了解相关的劳动法律法规，如《中华人民共和国劳动法》、《中华人民共和国劳动合同法》等，以便在维护自己权益时能够有理有据。
- 及时采取行动：一旦发现子公司存在欠薪行为，劳动者应该及时采取行动，不要拖延时间。因为随着时间的推移，证据可能会丢失或者变得难以获取，从而增加维权的难度。
作为拥有多领域法律实务经验的律师，我建议你根据自身情况选择合适的维权方式，并始终保持冷静和理性。如果你有任何疑问或需要进一步的法律帮助，请随时向我咨询。