结论前置：执法主体违法时，通常不能直接对本机关进行处罚，而是由上级机关或有权机关依据相关法律法规进行监督和纠正，并可能追究相关责任人员的法律责任。

一、执法主体违法的性质与后果

执法主体，即行政机关或其工作人员，在执行公务时必须严格遵守法律法规，依法行使职权。如果执法主体违法，即违反了法律法规的规定，其行为将构成违法行政行为。这种违法行政行为不仅损害了公民、法人或其他组织的合法权益，也破坏了法治秩序和行政机关的公信力。

二、对执法主体违法的监督与纠正机制

1. 上级机关监督：

   • 根据行政机关的层级关系，上级机关对下级机关的执法活动具有监督权。当发现下级机关存在违法行政行为时，上级机关可以依法进行纠正，并可能追究相关责任人员的法律责任。

2. 专门机关监督：

   • 除了上级机关外，还有专门的监督机关如监察机关、审计机关等，对行政机关的执法活动进行监督。这些机关在发现违法行政行为时，也会依法进行纠正和处理。

3. 司法监督：

   • 公民、法人或其他组织认为行政机关的执法行为侵犯其合法权益时，可以依法向人民法院提起行政诉讼。人民法院在审理案件时，会对行政行为的合法性进行审查，并依法作出判决。如果行政行为被确认违法，人民法院会撤销或变更该行政行为，并可能判决行政机关承担赔偿责任。

三、对执法主体违法行为的处理方式

1. 纠正违法行政行为：

   • 当发现执法主体存在违法行政行为时，首要任务是纠正该行为，以恢复被破坏的法治秩序和保护公民、法人或其他组织的合法权益。纠正方式可能包括撤销违法行政行为、变更违法行政行为或确认违法行政行为无效等。

2. 追究责任人员的法律责任：

   • 除了纠正违法行政行为外，还需要追究相关责任人员的法律责任。这可能包括行政处分（如警告、记过、降级、撤职、开除等）、刑事责任（如构成犯罪的，依法追究刑事责任）以及民事赔偿责任（如因违法行政行为给公民、法人或其他组织造成损失的，依法承担赔偿责任）等。

四、特殊情况下的处理

在某些特殊情况下，如执法主体内部存在严重的违法乱纪行为或腐败现象时，可能需要采取更为严厉的措施进行整治。这可能包括成立专门调查组进行调查、对涉案人员进行立案侦查、移送司法机关处理等。同时，为了防止类似事件的再次发生，还需要加强行政机关的内部监督和制度建设。

五、总结与建议

执法主体违法时，不能直接对本机关进行处罚，而是由上级机关、专门机关或司法机关依据相关法律法规进行监督和纠正，并可能追究相关责任人员的法律责任。为了维护法治秩序和保护公民、法人或其他组织的合法权益，建议行政机关加强内部监督、提高执法人员的法律素养和职业道德水平、完善执法程序和制度建设等。如果您在法律方面有任何疑问或需要进一步的帮助，请直接向我咨询。