在处理绩效工资发放的劳动仲裁案件时，需要遵循一系列清晰且详细的步骤，同时确保双方（劳动者和用人单位）的权益得到妥善维护。以下是对此类案件处理流程的详细解答：
一、初步审查与准备
审查劳动合同与单位制度：
- 首先，查看劳动合同或单位规章制度中是否有关于绩效工资的明确约定，包括计算方式、发放条件等。
- 若有约定，则按照约定执行；若无明确约定，则需进一步分析实际情况。
收集证据：
- 劳动者应收集工资条、银行流水、绩效评估报告、工作成果记录等相关证据，以证明自己的绩效完成情况以及绩效工资未足额发放的事实。
- 用人单位则需准备绩效考核制度、绩效评估过程与结果、工资发放记录等证据，以证明其考核制度的合法合理性以及绩效工资发放的合规性。
二、正式仲裁流程
提交仲裁申请：
- 劳动者在准备好相关证据后，应向当地劳动争议仲裁委员会提交仲裁申请，明确仲裁请求和事实理由。
双方举证与质证：
- 在仲裁庭上，双方将分别进行举证和质证，对对方提供的证据进行审查并提出意见。
- 劳动者需重点证明绩效工资的约定、完成情况及未足额发放的事实；用人单位则需证明其绩效考核制度的合法合理性、绩效评估过程与结果以及绩效工资发放的合规性。
仲裁庭调查与辩论：
- 仲裁庭将对双方提供的证据进行调查，并听取双方的辩论意见，以全面了解案件事实。
仲裁裁决：
- 在充分审查双方证据和听取辩论意见后，仲裁庭将作出仲裁裁决，明确双方的权利义务。
三、后续执行与救济
执行仲裁裁决：
- 若仲裁裁决支持劳动者的请求，用人单位应按照裁决结果支付绩效工资差额或其他相关费用。
申请强制执行：
- 若用人单位拒不执行仲裁裁决，劳动者可向人民法院申请强制执行。
其他救济途径：
- 若对仲裁裁决不服，双方均可在规定时间内向人民法院提起诉讼，进一步维护自己的合法权益。
四、注意事项
- 时效问题：劳动争议申请仲裁的时效期间通常为一年，但劳动关系存续期间因拖欠劳动报酬发生争议的，不受一年限制。劳动关系终止后，应自终止之日起一年内提出。
- 证据的真实性与合法性：双方提供的证据必须真实、合法，且与案件事实具有关联性。虚假证据将不被采纳，并可能承担相应的法律责任。
综上所述，处理绩效工资发放的劳动仲裁案件需要双方充分准备证据，并按照正式的仲裁流程进行。在仲裁过程中，双方应积极配合仲裁庭的调查与辩论，以确保案件得到公正、合理的裁决。