核心结论：二调是耕地、三调变为工业用地，若涉及违法用地行为，需根据具体违法情形，如未经批准非法占用耕地改变用途等，依据相关法律法规缴纳罚款，罚款标准通常按非法占用土地面积和对应罚款额确定，同时还可能面临其他法律责任。以下为详细分析：

违法情形认定

1. 未经批准擅自改变用途：如果该地块从耕地变为工业用地，没有经过合法的土地用途变更审批程序，比如未取得自然资源主管部门的用地批准文件，就擅自将耕地用于工业建设，这属于典型的违法用地行为。依据《中华人民共和国土地管理法》等相关法律规定，这种行为是明确禁止的，需要承担相应的法律责任，其中就包括缴纳罚款。
2. 骗取批准或越权批准：即使有看似合法的审批手续，但如果存在骗取批准的情况，例如提供虚假材料获取用地批准；或者是相关部门越权批准，超出了其法定审批权限批准土地用途变更，那么这种批准也是无效的，同样会被认定为违法用地，要面临罚款等处罚。

罚款依据及标准

1. 《中华人民共和国土地管理法》第七十七条：未经批准或者采取欺骗手段骗取批准，非法占用土地的，由县级以上人民政府自然资源主管部门责令退还非法占用的土地，对违反土地利用总体规划擅自将农用地改为建设用地的，限期拆除在非法占用的土地上新建的建筑物和其他设施，恢复土地原状，对符合土地利用总体规划的，没收在非法占用的土地上新建的建筑物和其他设施，可以并处罚款。罚款额为非法占用土地每平方米100元以上1000元以下。具体罚款数额会根据非法占用土地的性质（如是否为基本农田等）、面积大小以及违法情节的严重程度等因素综合确定。例如，如果非法占用的是基本农田，且面积较大、情节恶劣，那么罚款可能会接近每平方米1000元的上限；如果占用的是一般耕地，面积较小、情节较轻，罚款可能会相对较低。
2. 地方性法规补充：除了国家层面的法律规定，各地还可能根据本地的实际情况制定地方性法规或规章，对非法占用土地的罚款标准进行进一步细化和补充。这些地方性规定可能会结合当地经济发展水平、土地资源状况等因素，对罚款的具体幅度、计算方式等作出更详细的规定。所以，在确定具体罚款数额时，还需要参考当地的相关规定。

其他可能法律责任

1. 行政处分：如果违法用地行为涉及到国家工作人员，除了对用地单位或个人进行罚款等处罚外，对直接负责的主管人员和其他直接责任人员，还可能依法给予处分。例如，如果是某企业通过不正当手段获取用地批准，而负责审批的相关政府部门工作人员存在失职、渎职行为，那么这些工作人员可能会受到警告、记过、降级、撤职甚至开除等行政处分。
2. 刑事责任：在情节严重的情况下，非法占用土地行为还可能构成犯罪。根据《中华人民共和国刑法》第三百四十二条规定，违反土地管理法规，非法占用耕地、林地等农用地，改变被占用土地用途，数量较大，造成耕地、林地等农用地大量毁坏的，处五年以下有期徒刑或者拘役，并处或者单处罚金。这里的“数量较大”和“造成农用地大量毁坏”有具体的认定标准，例如非法占用基本农田5亩以上或者非法占用基本农田以外的耕地10亩以上等情形，就可能被认定为数量较大，需要承担刑事责任。

处理流程建议

1. 主动配合调查：一旦发现存在违法用地情况，用地单位或个人应主动配合自然资源主管部门的调查工作，如实提供相关情况和资料，包括土地来源、使用情况、审批手续等。积极配合调查有助于争取从轻处理，避免因逃避、抗拒调查而加重处罚。
2. 及时整改：在接受调查的同时，应尽快采取措施进行整改，如停止违法建设行为、拆除违法建筑物、恢复土地原状等。及时整改可以表明态度，减少违法行为对土地资源和生态环境的进一步破坏，也有可能在罚款等处罚方面得到一定程度的减轻。
3. 申请行政复议或提起行政诉讼：如果对自然资源主管部门作出的罚款决定或其他行政处罚不服，用地单位或个人可以在法定期限内依法申请行政复议或者提起行政诉讼。通过法律途径维护自己的合法权益，但需要注意的是，在申请复议或提起诉讼期间，一般不停止行政处罚的执行，除非有特殊情况经法定程序决定停止执行。

如果你遇到了二调是耕地、三调变为工业用地涉及罚款的具体问题，欢迎随时向我咨询，我会结合实际情况为你提供更详细准确的解答。