规范性文件违法的审查主体，主要依据文件的制定机关和性质来确定，具体分为以下几种情况：
行政系统内部审查：
- 审查主体：对于行政机关制定的规范性文件，通常由该行政机关的上级机关或者本级人民政府进行审查。例如，县政府制定的规范性文件，可以由市政府或者县政府自己（通过内部监督机制）进行审查。
- 审查依据：这主要依据《中华人民共和国地方各级人民代表大会和地方各级人民政府组织法》以及相关行政法规、规章中关于行政监督的规定。
- 审查程序：一般包括提出审查建议、受理审查、审查决定等步骤。如果发现规范性文件违法，审查机关可以责令制定机关纠正，或者依法予以撤销、变更。
人大系统审查：
- 审查主体：对于涉及公民、法人和其他组织权利义务的规范性文件，特别是那些具有普遍约束力、能够反复适用的文件，人大及其常委会也有权进行审查。这通常通过备案审查制度来实现。
- 审查依据：主要依据《中华人民共和国立法法》、《中华人民共和国各级人民代表大会常务委员会监督法》等法律中关于备案审查的规定。
- 审查程序：包括接收备案、初步审查、提出审查意见、审议决定等。如果人大及其常委会认为规范性文件违法，可以提出纠正要求，或者依法予以撤销。
司法审查：
- 审查主体：在行政诉讼中，法院也有权对行政机关制定的规范性文件进行附带性审查。但需要注意的是，法院并不直接对规范性文件进行抽象审查，而是在具体案件中，如果认为规范性文件违法，可以不予适用，并向制定机关提出处理建议。
- 审查依据：主要依据《中华人民共和国行政诉讼法》中关于行政诉讼受案范围、审理程序以及判决方式的规定。
- 审查限制：法院的审查是有限的，它不能直接宣告规范性文件无效或撤销它，但可以通过不予适用的方式间接否定其效力。
在审查过程中，还需要注意以下几点：
- 审查的启动：审查可以由利害关系人提出申请，也可以由审查机关依职权主动进行。
- 审查的标准：主要审查规范性文件是否违反法律、法规、规章以及上位法的规定，是否超越法定权限，是否违反法定程序等。
- 审查的后果：如果规范性文件被确认违法，制定机关需要承担相应的法律责任，包括纠正违法内容、赔偿损失等。同时，审查机关也可以将审查情况向社会公布，以增强透明度和社会监督。
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