当遇到行政行为违法的情况时，您可以通过以下清晰、详细的步骤来维护自己的合法权益：
一、明确违法性质与影响
首先，您需要明确行政行为违法的具体性质，比如是程序违法还是实体违法，以及这种违法行为对您造成了哪些实际影响。这有助于您后续选择合适的救济途径和提出合理的诉求。
二、选择行政救济途径
行政复议
申请与受理：如果您认为行政行为违反了法定程序，您可以在知道该行为之日起六十日内（法律另有规定除外）向有权机关提出复议申请。在申请书中，您需要详细说明行政程序违法的具体情况，包括时间、地点、涉及人员、违法事实等，并提出您的诉求，如撤销、变更或确认行政行为违法。复议机关应在五日内审查并决定是否受理您的申请。
审查与处理：一旦受理，复议机关将全面审查行政行为的程序合法性。如果发现程序确实违法，复议机关有权作出撤销、变更或确认违法的决定，并可以责令行政机关重新作出合法行为。
向行政机关内部监督部门反映
您还可以向作出行政行为的机关的上级主管部门或内部监督机构（如法制科）投诉举报程序违法问题。在投诉时，您需要提供书面材料及相关证据，如行政决定书、送达回执、沟通记录等，以支持您的投诉。
监督部门收到投诉后，应展开调查，查证属实后依据内部管理规定处理责任人员，并要求纠正违法行为。
三、考虑司法救济途径
如果行政救济途径未能满足您的需求，或者您认为行政行为严重侵犯了您的合法权益，您还可以考虑通过行政诉讼来寻求司法救济。
起诉条件：您需要在知道或应当知道行政行为之日起六个月内（法律另有规定除外）向法院提起行政诉讼。在起诉状中，您需要明确指出程序违法的事实、法律依据以及您的诉讼请求。
审理与判决：法院将依法审理案件，通过审查证据、听取陈述和辩论等环节来判断行政行为是否违法。如果认定违法，法院可以根据情况作出撤销、确认违法等判决。如果程序违法导致了您的损失，法院还可以判决行政机关承担赔偿责任。
四、了解法律责任与影响
如果行政程序违法但未对您的权利产生实际影响，该行为可能被确认为违法但不撤销或变更原行为。
行政机关工作人员如果因滥用职权、玩忽职守等导致程序违法的，可能面临行政处分甚至刑事责任。
五、其他建议
在处理行政程序违法问题时，建议您收集并保存相关证据，如行政决定书、送达回执、沟通记录、现场照片或视频等，以维护自身权益。
如果您对法律程序不熟悉或感到困惑，可以考虑咨询专业律师以获取更具体的法律建议和帮助。律师可以为您提供专业的法律意见，帮助您更好地维护自己的合法权益。
综上所述，处理行政行为违法问题需要综合考虑多种因素和法律途径。希望以上解答能够帮助您更好地理解和应对此类问题。