关于您提到的“设施农用地备案后建厂房超建被查了”的问题，这里是我的详细解答：

结论：设施农用地备案后建厂房超建，很可能违反了相关法律法规，因此被查处。接下来，我将从法律角度为您分析可能的情况及后果，并给出建议。

1. 法律性质分析：

   • 设施农用地通常用于农业生产相关的设施，如温室、养殖场等，而非工业或商业用途的厂房。
   • 如果在设施农用地上建设了超出备案范围的厂房，很可能属于违法建设。

2. 可能面临的法律后果：

   • 行政处罚：相关部门可能会对您进行行政处罚，如罚款、责令拆除违法建筑等。
   • 法律责任：如果超建行为严重违反了土地管理法规，甚至可能构成犯罪，需要承担刑事责任。

3. 应对措施：

   • 立即停止违法行为：如果超建行为仍在进行中，应立即停止，避免进一步的法律后果。
   • 咨询相关部门：尽快咨询当地自然资源部门或农业农村部门，了解具体的法律法规和政策要求，以及可能的补救措施。
   • 申请补办手续：如果超建部分符合相关规划要求，可以尝试申请补办用地手续，但这一步骤需要依据当地政策来确定是否可行。
   • 配合调查处理：如果已经被相关部门查处，应积极配合调查处理，如实陈述情况，争取减轻处罚。

4. 后续建议：

   • 加强法律学习：了解并遵守相关法律法规，确保今后的建设活动合法合规。
   • 合理规划用地：在申请设施农用地时，应合理规划用地范围和用途，避免超建等违法行为的发生。

如果您对具体的法律法规或后续处理流程有疑问，可以直接向我咨询。我会根据您的具体情况，提供更详细的法律建议和帮助。