业委会专有部分面积占比不够，是不能合法成立的。

根据《物业管理条例》以及相关法律法规的规定，业主委员会的成立需要满足一定的条件，其中之一就是业主委员会成员应当由物业管理区域内的业主代表组成，且这些业主代表在物业管理区域内所拥有的专有部分面积占比需要达到一定的比例。这一比例通常是由地方性的物业管理法规或者业主大会议事规则来具体规定的。

如果业委会专有部分面积占比不够，那么其成立就存在合法性的问题。因为这意味着业委会可能无法充分代表物业管理区域内所有业主的利益，也无法有效地履行其职责和权力。在这种情况下，业委会的决策可能会受到质疑，甚至可能引发业主之间的纠纷和矛盾。

因此，在成立业委会时，应当严格按照相关法律法规和业主大会议事规则的规定，确保业委会成员的专有部分面积占比达到要求，以保证业委会的合法性和有效性。如果确实存在专有部分面积占比不够的情况，那么应当通过合法途径进行解决，比如重新选举业委会成员或者调整业主大会议事规则等。