对于非法占用集体建设用地的违法行为，是可以适用《城乡规划法》进行处罚的，但具体处罚措施需结合实际情况及《土地管理法》等相关法律法规综合判断。以下是对此问题的详细分析：
一、法律依据与适用性
《城乡规划法》的适用：
- 《城乡规划法》第六十四条规定，未取得建设工程规划许可证或者未按照建设工程规划许可证的规定进行建设的，由县级以上地方人民政府城乡规划主管部门责令停止建设；尚可采取改正措施消除对规划实施的影响的，限期改正，处建设工程造价百分之五以上百分之十以下的罚款；无法采取改正措施消除影响的，限期拆除，不能拆除的，没收实物或者违法收入，可以并处建设工程造价百分之十以下的罚款。
- 若非法占用集体建设用地进行的建设活动违反了城乡规划，那么相关部门可以依据《城乡规划法》的上述规定进行处罚。
《土地管理法》的补充：
- 根据《土地管理法》第七十七条，未经批准或者采取欺骗手段骗取批准，非法占用土地的，由县级以上人民政府自然资源主管部门责令退还非法占用的土地，对违反土地利用总体规划擅自将农用地改为建设用地的，限期拆除在非法占用的土地上新建的建筑物和其他设施，恢复土地原状，对符合土地利用总体规划的，没收在非法占用的土地上新建的建筑物和其他设施，可以并处罚款。
- 这意味着，在处理非法占用集体建设用地时，除了考虑《城乡规划法》外，还需结合《土地管理法》的相关规定，特别是关于土地利用总体规划和农用地转用的规定。
二、具体处罚措施
责令改正与限期拆除：
- 若非法占用集体建设用地的行为违反了城乡规划，且建筑物不符合规划要求，相关部门会责令违法用地者在规定期限内自行改正违法行为，如拆除违规建筑物，并恢复土地原状。
没收违法所得与罚款：
- 若违法用地者通过违法用地行为获得了经济利益，如将违法占用的土地用于非农业建设并出租获取租金，县级以上人民政府自然资源主管部门有权没收违法所得，并可能处以罚款。罚款的具体数额会根据违法用地的面积、用途、情节等因素进行裁量。
补办手续与完善用地合法性（在特定条件下）：
- 对于符合土地利用总体规划和相关建设规划，仅在用地手续上存在欠缺的项目，如未及时办理完整审批手续的小型企业，在缴纳相关费用、履行规定程序后，可为其补办用地审批手续，使用地行为合法化。但这一措施并不适用于所有非法占用集体建设用地的情形，需严格评估。
三、综合考量与处理原则
在处理非法占用集体建设用地的违法行为时，应综合考虑违法行为的性质、情节、社会影响以及当事人的改正态度等多种因素。同时，需加强土地法规的宣传和教育，提高公众的土地规划和利用意识，从源头上减少此类违法行为的发生。
四、实际操作建议
由于具体的处罚措施可能因地区和政策差异而有所不同，且涉及复杂的法律判断和程序要求，建议您在面临此类问题时，直接向我咨询，以便根据您的具体情况提供准确的法律意见和指导。
综上所述，对于非法占用集体建设用地的违法行为，是可以适用《城乡规划法》进行处罚的，但具体处罚措施需结合实际情况及相关法律法规综合判断。希望以上分析能对您有所帮助。