结论：在总包单位已足额支付分包单位工程款，但分包单位仍无力支付其下游款项（如材料款、劳务费等）的情况下，法律上主要涉及分包单位的责任承担、债权人的救济途径以及可能的法律后果。以下从这几个方面进行详细分析。
一、分包单位的责任承担
合同相对性原则：
- 分包单位与其下游供应商（如材料供应商、劳务提供者）之间存在直接的合同关系。根据合同相对性原则，分包单位有义务按照合同约定支付相应款项。
- 若分包单位无力支付，这并不改变其合同上的支付义务。分包单位仍需承担违约责任，并可能面临法律诉讼和强制执行。
内部资金管理问题：
- 分包单位无力支付款项，往往与其内部资金管理不善、资金链断裂或经营不善有关。这属于分包单位自身的商业风险，应由其自行承担。
二、债权人的救济途径
协商与调解：
- 债权人（如下游供应商）可以首先尝试与分包单位进行协商，寻求达成还款协议或延期还款等解决方案。
- 若协商无果，可以寻求第三方调解机构的帮助，通过调解达成和解协议。
法律诉讼：
- 若协商和调解均无法解决问题，债权人可以向人民法院提起诉讼，要求分包单位支付欠款及可能产生的违约金、利息等。
- 在诉讼过程中，债权人需要提供充分的证据证明其与分包单位之间的合同关系以及分包单位未履行支付义务的事实。
申请强制执行：
- 若债权人获得胜诉判决后，分包单位仍不履行支付义务，债权人可以向人民法院申请强制执行。
- 人民法院将依法对分包单位的财产进行查封、扣押、拍卖等措施，以强制其履行支付义务。
三、可能的法律后果
对分包单位的影响：
- 分包单位若被强制执行，其财产可能被查封、扣押或拍卖，导致其经营受到严重影响。
- 分包单位的信用记录也将受到损害，可能影响其未来的商业合作和融资能力。
对总包单位的影响（间接）：
- 虽然总包单位已足额支付分包单位工程款，但若分包单位因无力支付款项而引发纠纷或诉讼，可能间接影响总包单位的声誉和项目进度。
- 在极端情况下，若分包单位的纠纷导致项目停工或无法按时完成，总包单位可能需承担相应的违约责任或损失。
四、特殊情况下的责任承担
- 若分包单位的行为构成犯罪（如诈骗、挪用资金等），则可能面临刑事责任的追究。此时，债权人的救济途径将包括刑事附带民事诉讼等。
- 若总包单位在支付工程款过程中存在过错（如未按时支付、支付金额不足等），且该过错与分包单位无力支付款项之间存在因果关系，则总包单位可能需承担相应的补充责任或连带责任。但这种情况较为罕见，且需具体案件具体分析。
建议：对于分包单位而言，应加强内部资金管理，确保资金链的稳定；对于债权人而言，在签订合同时应明确约定支付条款和违约责任，并在出现纠纷时及时采取法律手段维护自身权益。如有任何疑问或需要进一步的法律帮助，请直接向我咨询。