设备所有权人可以通过以下方式证明机器设备不属于抵押人，从而维护自身合法权益：

1. 提供设备购买凭证
   所有权人应首先提供设备的原始购买合同、发票或付款记录，证明设备的购买时间、金额及付款方。若设备为二手购买，需提供转让协议及前手所有人的权属证明。这些文件能直接证明设备的初始所有权归属。

2. 出示设备登记证明（如适用）
   若设备属于特种设备（如锅炉、压力容器）或需登记的动产（如车辆、船舶），所有权人应提供登记证书或备案记录，证明设备已依法登记在其名下。登记信息具有公示效力，是证明所有权的关键证据。

3. 提供设备使用、维护记录
   所有权人可整理设备的维修记录、保养合同、保险单据等，证明设备长期由其控制、使用并承担维护责任。若设备由抵押人实际使用，可要求抵押人出具借用或租赁协议，明确权属关系。

4. 证人证言或书面声明
   若设备由第三方保管或使用，可邀请保管人、维修人员等出具证人证言，证明设备实际归属。此外，抵押人若曾书面承认设备不属于其所有（如邮件、聊天记录），也可作为辅助证据。

5. 申请物权鉴定或专家评估
   在设备权属争议复杂时，可委托专业机构对设备进行物权鉴定，或通过专家评估确认设备的唯一性、特殊性（如定制设备），从而排除抵押人主张所有权的可能性。

若设备已被抵押，所有权人可采取以下法律措施：

• 提出执行异议：在法院执行阶段，向执行法院提交上述证据，主张对设备的所有权，要求中止执行或排除抵押权。
  
• 提起确权诉讼：直接向法院起诉，请求确认设备所有权归属，并要求抵押人返还设备或赔偿损失。
  
• 主张抵押无效：若抵押人无权处分设备，所有权人可主张抵押合同因无权处分而无效，要求撤销抵押登记。

建议：设备所有权人应尽快固定证据（如复印购买合同、登记证书等），并咨询专业律师制定诉讼策略。若设备已被查封或拍卖，需在法定期限内提出异议，避免丧失救济权利。如有进一步疑问，可直接向我咨询。