违法事实不清、证据不足确实会导致行政处罚无效。以下从多个角度为你详细分析：
法律依据
根据《中华人民共和国行政处罚法》第四十条的规定：“公民、法人或者其他组织违反行政管理秩序的行为，依法应当给予行政处罚的，行政机关必须查明事实；违法事实不清、证据不足的，不得给予行政处罚。”这一规定是行政机关作出行政处罚决定的基本原则，即必须确保违法事实清楚、证据确实充分。如果违法事实不清或证据不足，行政机关就不得对当事人进行处罚，否则将构成违法行政。
法律原则
行政处罚必须遵循“以事实为依据，以法律为准绳”的原则。这意味着，行政机关在作出处罚决定时，必须有确凿的证据证明当事人存在违法行为，且该行为符合法律规定的处罚条件。如果违法事实不清或证据不足，行政机关就无法形成确凿的证据链，也就无法对当事人进行处罚。这一原则有助于保护当事人的合法权益，防止行政机关滥用职权或误判。
实践意义
保护当事人权益：违法事实不清、证据不足时不得给予行政处罚，这一规定有助于保护当事人的合法权益。如果行政机关在证据不足的情况下对当事人进行处罚，可能会侵犯当事人的合法权益，导致不公正的结果。
防止行政机关滥用职权：这一规定也要求行政机关在执法过程中必须严格遵循法定程序，收集充分的证据，确保处罚决定的合法性和公正性。这有助于防止行政机关滥用职权，随意对当事人进行处罚。
促进依法行政：违法事实不清、证据不足时不得给予行政处罚，这一规定也促进了行政机关的依法行政。行政机关在作出处罚决定前，必须确保违法事实清楚、证据确实充分，这有助于提高行政机关的执法水平和公信力。
后续处理方式
当行政机关发现违法事实不清、证据不足时，应当采取以下措施：
补充调查取证：行政机关可以继续深入调查，收集更多相关证据，以澄清事实真相。如果经过补充调查后，能够查清违法事实且证据确实充分，那么行政机关可以依法对当事人进行处罚。
撤销案件：如果经过补充调查后，仍然无法查清违法事实或证据仍然不足，那么行政机关应当依法撤销案件，终止行政处罚程序。这有助于避免对当事人进行不公正的处罚。
告知当事人权利：在作出任何处理决定前，行政机关应当告知当事人其享有的陈述权、申辩权以及申请行政复议或提起行政诉讼的权利。这有助于保障当事人的合法权益，确保处罚决定的合法性和公正性。
法律后果
如果行政机关在违法事实不清、证据不足的情况下对当事人进行了处罚，那么当事人有权依法申请行政复议或提起行政诉讼，要求撤销该处罚决定。根据《中华人民共和国行政诉讼法》第七十条的规定，行政行为主要证据不足的，人民法院判决撤销或者部分撤销，并可以判决被告重新作出行政行为。
总结来说，违法事实不清、证据不足确实会导致行政处罚无效。行政机关在作出处罚决定前，必须确保违法事实清楚、证据确实充分。如果违法事实不清或证据不足，行政机关就不得对当事人进行处罚。如果你在这方面有任何疑问或需要进一步的法律帮助，请随时向我咨询。