送达程序不合法会直接影响当事人的合法权益及司法程序的公正性，其法律依据及处理方式如下：
一、法律依据
送达程序是法律程序中的重要环节，其合法性直接关系到当事人的知情权、参与权和陈述权能否得到有效保障。我国《民事诉讼法》、《刑事诉讼法》及《行政诉讼法》均对送达程序作出了明确规定，若送达程序不合法，则违反了这些法律的基本原则和规定。
- 《民事诉讼法》相关规定：
- 第八十五条：送达诉讼文书，应当直接送交受送达人。受送达人是公民的，本人不在交他的同住成年家属签收；受送达人有诉讼代理人的，可以送交其代理人签收；受送达人已向人民法院指定代收人的，送交代收人签收。
- 第八十六条：受送达人或者他的同住成年家属拒绝接收诉讼文书的，送达人可以邀请有关基层组织或者所在单位的代表到场，说明情况，在送达回证上记明拒收事由和日期，由送达人、见证人签名或者盖章，把诉讼文书留在受送达人的住所；也可以把诉讼文书留在受送达人的住所，并采用拍照、录像等方式记录送达过程，即视为送达。
- 第九十二条：受送达人下落不明，或者用本节规定的其他方式无法送达的，公告送达。自发出公告之日起，经过六十日，即视为送达。公告送达，应当在案卷中记明原因和经过。
若送达程序违反上述规定，如未直接送达而直接采用公告送达，或未在受送达人拒收时邀请见证人到场等，均构成送达程序不合法。
- 《刑事诉讼法》相关规定：
- 第一百零五条：送达传票、通知书和其他诉讼文件应当交给收件人本人；如果本人不在，可以由他的成年家属或者所在单位的负责人员代收。收件人本人或者代收人拒绝接收或者拒绝签名、盖章的时候，送达人可以邀请他的邻居或者其他见证人到场，说明情况，把文件留在他的住处，在送达证上记明拒绝的事由、送达的日期，由送达人签名，即认为已经送达。
刑事诉讼中的送达程序同样要求严格遵循法定方式，确保被告人的知情权和参与权。
- 《行政诉讼法》相关规定：
- 第一百零一条：人民法院审理行政案件，关于期间、送达、财产保全、开庭审理、调解、中止诉讼、终结诉讼、简易程序、执行等，以及人民检察院对行政案件受理、审理、裁判、执行的监督，本法没有规定的，适用《中华人民共和国民事诉讼法》的相关规定。
行政诉讼中的送达程序在缺乏特别规定时，参照《民事诉讼法》的相关规定执行。
二、处理方式
当发现送达程序不合法时，当事人可以采取以下措施维护自身合法权益：
提出异议：
- 当事人在发现送达程序不合法后，应尽快以书面形式向法院提出异议，详细说明送达程序存在的问题，并提供证据材料支持。
重新送达：
- 法院在接到异议后，会对送达程序进行审查。若确认不合法，将安排重新送达，以确保当事人及时准确地收到法律文书。
申请再审或复议：
- 若因送达程序不合法导致当事人未能及时参与诉讼，进而作出不利判决或决定，当事人可在法定期限内向上一级法院申请再审（民事诉讼、刑事诉讼）或向行政机关申请复议（行政诉讼），详细阐述送达程序违法的事实、理由及其对案件审理和判决结果的实质性影响。
申请检察监督：
- 在刑事诉讼和行政诉讼中，当事人还可向人民检察院申请检察建议或抗诉。人民检察院作为法律监督机关，若发现法院送达程序违法且损害当事人合法权益，将依法进行审查并采取相应措施以维护司法公正。
国家赔偿：
- 在行政诉讼中，若行政机关送达程序不合法给行政相对人造成实际损失，相对人在行政行为被确认违法后，可依法向行政机关提出国家赔偿申请。
三、注意事项
- 及时行动：当事人需在法律规定的期限内采取相应的法律措施，以免错过维权时机。
- 保留证据：无论是提出异议、申请复议还是提起诉讼，当事人都应保留好相关证据，以证明送达程序的不合法性。
- 具体问题具体分析：不同类型的案件及具体的送达情况可能存在差异，当事人应根据相关法律规定及实际状况灵活应对。
如有任何关于送达程序不合法或其他法律问题的疑问，请直接向我咨询，我将为你提供专业的法律解答。