针对您提出的“工业用地未批先建厂房怎么处理”的问题，这是一个涉及违法用地和建设行为的复杂情况，但通过一定的程序和措施，可以依法补办相关手续，使厂房合法化。以下是我为您提供的详细解答：
一、认识违法行为及初步应对措施
立即停止建设：一旦发现未批先建的情况，首要任务是立即停止所有建设活动，以防止违法状态的持续或进一步恶化。
接受调查与处罚：
- 主动配合当地土地管理部门的调查，如实提供所有相关资料和信息。
- 根据《中华人民共和国土地管理法》等相关法律法规，接受相应的行政处罚，如罚款等。这是进入补办用地和建设手续流程的前提。
二、补办用地及建设手续的详细步骤
准备申请材料：
- 申请书：详细说明厂房的基本情况、未批先建的原因、补办手续的意愿等。
- 身份证明：提供企业营业执照副本、法定代表人身份证明等。
- 土地使用权证明：如土地出让合同、土地使用证（若已有部分手续）等。
- 规划设计方案：包括厂房的平面图、立面图、剖面图等，需符合当地规划要求。
- 环境影响评价报告（如需）：根据厂房的用途和规模，可能需要提供。
- 违法用地处罚决定书及缴纳罚款凭证：证明已接受处罚并缴纳罚款。
- 其他相关材料：如项目立项批复（如适用）、施工许可证（如有）、竣工验收报告（若已有部分建设）等。
提交申请并接受审查：
- 将准备好的材料提交给当地规划和自然资源部门或相关审批机构。
- 审批机构将对提交的材料进行全面审查，包括规划符合性、用地规模与标准、权属清晰性、跨部门意见等。
缴纳罚款（如尚未缴纳）：
- 根据相关法律法规，对于未批先建的行为，可能需要缴纳罚款。确保在补办手续前已缴纳所有应缴罚款。
获得批准并办理后续手续：
- 经过审查并获得批准后，您将收到用地批准文件和建设工程规划许可证（如适用）。
- 根据用地性质，办理土地出让或划拨手续，签订土地出让合同或取得划拨决定书。
- 到不动产登记机构办理不动产登记手续，领取不动产权证书，完成土地产权登记。
- 若厂房已部分建设，可能还需办理施工许可证（如尚未办理）和竣工验收等手续。
三、合规使用与持续监督
- 在获得合法的用地和建设手续后，应严格按照审批的用途和使用条件来使用土地和厂房。
- 加强法律意识，遵守相关法律法规，避免类似问题的再次发生。
- 当地自然资源部门可能会进行后续的监督和检查，确保土地的合规利用。
四、注意事项与建议
- 不同地区在具体办理流程和要求上可能存在差异，建议咨询当地规划和自然资源部门或专业律师以获取最准确的信息和指导。
- 在整个补办手续过程中，保持与审批机构的密切沟通，确保手续办理顺利进行。
- 加强内部管理，建立完善的土地使用和建设管理制度，防范未来可能出现的法律风险。
希望以上解答能对您有所帮助。如果您有任何进一步的问题或需要更具体的指导，请随时咨询。