工厂拖欠临时工工资，临时工可以通过以下途径来维护自己的合法权益：

一、收集证据

首先，要收集能够证明与工厂存在劳务关系以及应得工资数额的证据。这些证据包括但不限于：

• 工作证：证明在工厂工作的身份。
• 考勤记录：证明实际出勤天数，是计算工资的重要依据。
• 工资条或工资支付记录：明确应得工资数额。
• 聊天记录或工作安排文件：证明与工厂之间的劳务关系以及工作安排。
• 工友证言：如果有工友可以作证，他们的证言也是有力的证据。

二、与工厂协商

在收集到足够证据后，可以尝试与工厂相关负责人直接沟通，明确指出其拖欠工资的违法性，并要求限期支付工资。沟通时，注意保留记录，如通话录音、聊天截图等，以便后续维权。

三、向劳动监察部门投诉

如果协商无果，可以向当地劳动监察部门投诉。投诉时，需要准备好收集到的证据，并前往当地劳动监察大队反映情况。劳动监察部门有权对工厂进行调查，并责令其支付拖欠的工资。

四、申请劳动仲裁

如果劳动监察部门的介入未能解决问题，可以在规定时间内向劳动争议仲裁委员会申请仲裁。申请仲裁时，需要提交仲裁申请书及相关证据。仲裁委将依法审理并作出裁决。如果对仲裁结果不满意，还可以在规定期限内向法院提起诉讼。

五、提起诉讼

若对仲裁结果不满意，或者工厂未履行仲裁裁决，可以在规定时间内向人民法院提起诉讼。法院将按照民事诉讼程序审理案件，并依法作出判决。借助法律强制力，可以要求工厂支付拖欠的工资。

六、特别提醒

• 及时行动：一旦发现工厂拖欠工资，应尽快采取行动，避免超过诉讼时效。
• 保持冷静：在维权过程中，要保持冷静和理性，避免采取过激行为。
• 依法维权：确保所有维权行为都在法律框架内进行，避免违法维权带来的不利后果。

示例说明：

假设某临时工在工厂工作期间，工厂一直拖欠其工资。该临时工首先收集了工作证、考勤记录、工资条等证据。然后，他尝试与工厂负责人沟通，但工厂一直拖延不支付。于是，他向当地劳动监察部门投诉，并提交了相关证据。劳动监察部门介入调查后，责令工厂支付拖欠的工资。如果工厂仍未履行，该临时工可以向劳动争议仲裁委员会申请仲裁，或者向法院提起诉讼。

法律背景：

根据《中华人民共和国劳动法》及相关规定，用人单位应当按时足额支付劳动者工资。如果用人单位拖欠工资，劳动者有权通过合法途径维护自己的权益。

后续行动建议：

• 在采取任何维权行动前，确保已经收集到足够的证据。
• 如果对法律程序不熟悉，可以寻求专业律师的帮助。
• 在维权过程中，保持与工厂的沟通渠道畅通，以便及时解决问题。

如果有任何疑问或需要进一步的法律帮助，可以直接向我咨询。