如果您的集体厂房被他人占领，您可以通过以下途径来维权：

1. 明确产权与侵占事实：

   • 首先，确保您拥有该集体厂房的合法产权证明，如房产证、土地使用权证等。
   • 收集并保留侵占行为的证据，如现场照片、视频、证人证言等，以证明侵占事实的存在。

2. 和平协商：

   • 尝试与侵占方进行和平协商，明确表达您的产权立场，要求对方立即停止侵占行为并撤离。
   • 在协商过程中，可以寻求当地村委会、居委会或调解机构的协助，以促进双方和解。

3. 法律途径维权：

   • 若协商无果，您可以向当地公安机关报案，请求警方介入调查并处理侵占行为。
   • 同时，您可以考虑向法院提起民事诉讼，要求侵占方承担侵权责任，包括停止侵害、排除妨碍、赔偿损失等。
   • 在诉讼过程中，您需要提供充分的证据证明您的产权以及侵占行为的存在，法院将根据事实和法律规定作出公正判决。

4. 寻求政府支持：

   • 如果侵占行为涉及复杂的土地或产权纠纷，您可以向当地政府或相关部门寻求支持，请求他们协助解决纠纷。
   • 政府或相关部门可能会组织专家进行调解或提供法律援助，以帮助您维护合法权益。

综上所述，面对集体厂房被他人占领的情况，您应首先明确产权与侵占事实，尝试和平协商解决问题；若协商无果，则可通过法律途径或寻求政府支持来维护您的合法权益。在整个过程中，请务必保留好相关证据，以便在需要时提供证明。如果您在维权过程中遇到任何法律问题或需要进一步的法律帮助，请随时向我咨询。