当您的土地被侵占建厂时，您可以采取以下措施来维护自己的权益：

一、收集证据

首先，您需要精心收集能够证明土地归属权的证据。这包括但不限于土地使用证、土地承包经营权证、宅基地使用证等关键证件，以及能证明土地归属权的相关文件。同时，您还可以收集侵占现场的照片、视频等影像资料，以及证人证言，以形成完整的证据链。

二、尝试协商解决

在收集到足够的证据后，您可以尝试与侵占方进行协商。以平和、理性的态度与对方沟通，明确指出其行为的不合法性和对您权益的侵害，要求其立即停止侵占并归还土地。在协商过程中，您可以引用相关法律条款来增强说服力，并留存协商过程的记录。

三、申请政府处理或法律诉讼

如果协商无果，您可以根据土地性质和具体情况，选择向有处理权限的政府部门提交申请，或者向人民法院提起诉讼。

1. 申请政府处理：

   • 向农村土地承包仲裁机构或国土资源管理部门等政府部门反映情况。
   • 提交包括土地权属证明、承包合同、侵占证据等在内的详细材料。
   • 积极配合政府部门的调查，等待并尊重其依法作出的处理决定。

2. 法律诉讼：

   • 撰写起诉状，清晰阐述原被告信息、诉讼请求（如停止侵害、归还土地、赔偿损失）、事实与理由，并附上相关证据清单。
   • 携带起诉状及证据至有管辖权的人民法院立案庭，按程序办理立案手续，缴纳诉讼费用。
   • 参与庭审和辩论环节，如实陈述案情，对对方证据进行有效质证。
   • 若法院判决支持您的诉求，而侵占方未主动履行，可在规定期限内向法院申请强制执行。

四、其他注意事项

1. 专业咨询：面对复杂的法律问题，建议咨询律师或法律专家，获取专业的法律意见和指导。
2. 保持冷静：在整个过程中，保持冷静和理性，避免采取过激行为，以免事态恶化。
3. 了解法律：深入学习相关法律法规，如《中华人民共和国土地管理法》，以便更好地维护自己的合法权益。
4. 刑事报案：若侵占行为构成犯罪（如非法占用农用地罪），应及时向公安机关报案，通过刑事诉讼途径追究侵占者的刑事责任。

综上所述，面对土地被侵占建厂的问题，您应综合运用协商、政府处理和法律诉讼等多种手段来维护自己的权益。同时，注重证据的收集和法律的运用，以确保您的土地权益得到有效保护。