面对仲裁程序违法的情况，您确实有多种途径来维护自己的合法权益。以下是我为您详细梳理的处理步骤和建议：
一、及时在仲裁阶段提出异议
重要性：在仲裁过程中，一旦发现程序违法，如仲裁员应当回避而未回避、未按规定送达相关文书等，及时提出异议是至关重要的。这有助于确保仲裁程序的合法性和公正性，防止违法程序对裁决结果产生不当影响。
处理方式：您应立即向仲裁庭提出书面异议，明确指出程序违法的具体情形和依据。仲裁机构在收到异议后，会迅速对相关程序问题进行审查。若确认存在程序违法问题，仲裁机构将及时纠正，如重新安排符合规定的仲裁员进行审理或重新送达文书。
二、申请撤销仲裁裁决
法律依据：根据《中华人民共和国仲裁法》及相关法律规定，若仲裁裁决存在违反法定程序等情形，您有权在收到裁决书之日起一定期限内（国内仲裁通常为六个月，涉外仲裁同样为六个月）向仲裁委员会所在地的中级人民法院申请撤销裁决。
可撤销情形：包括但不限于没有仲裁协议、裁决事项超出仲裁协议范围、仲裁庭组成或程序违反法定程序、裁决所依据的证据是伪造的、对方当事人隐瞒关键证据、仲裁员有索贿受贿等违法行为。
申请流程：
三、申请不予执行仲裁裁决
法律依据：根据《中华人民共和国民事诉讼法》的相关规定，若仲裁裁决存在特定违法情形，您作为被申请人可以在执行程序中向受理执行申请的法院提出申请，请求法院裁定不予执行。
可不予执行情形：与申请撤销仲裁裁决的情形相似，包括没有仲裁协议、裁决事项超出范围、程序违法、证据伪造、隐瞒关键证据、仲裁员违法行为等。
四、提起诉讼
适用情况：对于某些特定类型的纠纷，如劳动争议，您可以在收到仲裁裁决书后的规定期限内（如十五日内）向人民法院提起诉讼。若仲裁裁决被人民法院裁定撤销，您也可以就争议事项向人民法院提起诉讼。
诉讼流程：按照民事诉讼程序向法院提起诉讼，法院将对整个争议案件进行全面审查，包括程序和实体问题，并依法作出判决。
五、重新申请仲裁
适用情况：若因仲裁程序违法导致仲裁裁决无效或被撤销，您可以根据相关法律规定和仲裁规则重新申请仲裁。在重新申请时，请确保遵守新的仲裁程序的各项要求，并提供充分的证据支持自己的主张。
六、投诉与举报
处理方式：若您发现仲裁员存在违法行为，如枉法裁判等，可以向仲裁委员会投诉举报。仲裁委员会将进行查证，并可能解聘相关仲裁员。若仲裁员的行为涉嫌犯罪，您还有权向公安机关报案，依法追究其刑事责任。
七、寻求专业法律帮助
建议：在整个处理过程中，我建议您及时咨询专业律师以获得准确的法律指导和建议。律师能够根据您的具体情况提供针对性的法律策略和诉讼方案，帮助您最大程度地维护自身权益。
综上所述，面对仲裁程序违法的情况，您应积极采取行动并通过多种途径来维护自身权益。同时，请严格遵守法律规定的程序和期限以确保自身权益得到有效保护。希望这些建议能对您有所帮助。