对规范性文件审查后认定为不合法，相关责任人的处理方式需根据具体违法情形、责任性质及损害后果综合判定，主要分为行政责任、党纪责任及刑事责任三类。以下结合不同情形展开说明：

一、行政责任：依据违法程度分层追责

1. 警告、记过、记大过等政务处分
   若责任人存在轻微违法（如文件制定程序瑕疵、内容越权但未造成严重后果），通常由有权机关（如上级政府、本级政府或监察机关）依据《公务员法》《行政机关公务员处分条例》给予警告至记大过处分。例如，某市住建局未经合法性审查直接发布限购文件，被撤销后，直接负责的主管人员可能被记过。

2. 降级、撤职、开除等严厉处分
   若违法情形严重（如文件内容明显违反上位法、损害公民合法权益、造成重大社会影响），责任人可能面临降级、撤职甚至开除公职。例如，某县教育局发布文件强制学生购买指定教辅材料，被认定违法后，局长可能被撤职。

3. 赔偿与追偿
   若文件违法导致国家赔偿，根据《国家赔偿法》第16条，赔偿义务机关赔偿后，可向故意或重大过失的责任人追偿部分或全部赔偿费用。例如，某市场监管局违法查封企业导致损失，赔偿后可能向具体执行人员追偿。

二、党纪责任：针对党员干部的双重追责

若责任人为党员干部，除行政责任外，还需依据《中国共产党纪律处分条例》追究党纪责任：

• 警告至开除党籍：根据违法情节轻重，可给予警告、严重警告、撤销党内职务、留党察看或开除党籍处分。例如，某党员干部主导制定违法文件并造成恶劣影响，可能被开除党籍。
  
• 与行政责任并处：党纪处分与政务处分通常同步适用，形成“双责”追究机制。

三、刑事责任：针对严重违法犯罪行为

若责任人行为构成犯罪（如滥用职权、玩忽职守、受贿等），将依法追究刑事责任：

• 滥用职权罪/玩忽职守罪：根据《刑法》第397条，国家机关工作人员滥用职权或玩忽职守，致使公共财产、国家和人民利益遭受重大损失的，处三年以下有期徒刑或拘役；情节特别严重的，处三年以上七年以下有期徒刑。例如，某环保局官员故意放宽排污标准导致重大环境污染，可能被以滥用职权罪追责。
  
• 受贿罪：若责任人通过制定违法文件谋取私利，可能同时构成受贿罪，依据《刑法》第385条处罚。

四、责任追究的启动程序

1. 审查建议与决定：由制定机关、上级机关或有权审查机构（如政府法制部门、法院）认定文件违法。
   
2. 责任调查：由监察机关、主管部门或党组织对责任人行为展开调查，收集证据。
   
3. 处分决定：根据调查结果，由有权机关作出处分决定，并送达责任人及所在单位。
   
4. 救济途径：责任人对处分不服的，可依法申请复核、申诉或提起行政诉讼（仅限对行政处分不服时）。

提示：规范性文件违法责任追究需严格遵循“权责一致”原则，即责任性质、处分幅度应与违法情节、损害后果相适应。若您涉及具体案件或需进一步分析责任类型，可直接向我咨询，我将结合事实与法律提供专业意见。