当厂房租赁合同到期，而租户未按时腾退时，作为出租方，您需要采取一系列合法、有序的措施来维护自己的权益。以下是一个详细的处理流程和建议：

一、沟通协商

首先，尝试与租户进行面对面的沟通，了解他们未按时腾退的具体原因。可能是租户在搬迁过程中遇到了实际困难，如寻找新场地的时间不足、搬迁成本过高等。在了解原因后，您可以考虑给予租户一定的宽限期，但必须明确宽限期的截止时间，并可能要求租户支付额外的租金或费用作为补偿。

二、书面通知

如果沟通协商无果，接下来您需要向租户发送正式的书面通知。通知中应明确指出租赁期限已到，要求租户在合理期限内（如3-5天）搬离厂房，并告知逾期不搬的后果，如可能面临的法律责任、额外费用的承担等。为了确保通知的送达和法律效力，建议您通过邮政特快专递（EMS）发送通知，并保留好快递单据及送达回执作为证据。

三、法律救济

1. 发送律师函： 如果书面通知后租户仍未搬离，您可以考虑委托律师发送律师函。律师函中应明确告知租户其行为已构成违约，并要求其限期搬离，同时承担因违约给您造成的损失。律师函的发送可以进一步向租户施加法律压力，促使其尽快搬离。

2. 提起诉讼： 如果律师函发送后租户仍然拒不搬离，您可以向有管辖权的人民法院提起诉讼。在准备诉讼材料时，您需要收集并整理好租赁合同、租金支付记录、书面通知、律师函及送达凭证、厂房现状照片等证据。法院将根据事实和法律规定进行判决，如果判决您胜诉，而租户仍拒不执行，您可以向法院申请强制执行。

四、强制执行与财物处理

1. 强制执行： 在获得法院判决后，如果租户仍然拒不搬离，您可以向法院申请强制执行。法院将组织执行人员前往厂房进行强制腾退，确保厂房能够顺利移交给您。

2. 财物处理： 在要求租户搬离的通知中，您应明确告知租户限期清理其财物。如果租户逾期未清理，您可以在第三方见证下对财物进行清点、登记和保管，并通知租户在一定期限内前来领取。保管费用应由租户承担。如果租户长时间不来领取，且在符合法律规定的条件下，您可以依法对财物进行处置。

五、注意事项

• 在整个处理过程中，您必须遵守法律法规，不得采取非法手段迫使租户搬离，如断水断电、封锁厂房等。
• 确保您已履行合同约定的义务，如提前通知租户租赁期限即将到期等。否则，租户可能以您违约为由提出抗辩。
• 如果双方最终达成和解协议，应确保协议内容明确且具有可执行性，并严格遵守以避免后续纠纷。

综上所述，处理厂房租赁合同到期租户腾退问题需要依法依规、有理有据地进行。通过沟通协商、书面通知、法律救济以及强制执行等步骤，您可以有效维护自己的权益，确保厂房能够顺利腾退并重新投入使用。