针对“工业用地未经审批擅自建设厂房怎么处理”的问题，以下是一个清晰、详细且有深度的解答：
首先，需要明确的是，未经审批擅自在工业用地上建设厂房是违法行为，违反了《中华人民共和国土地管理法》等相关法律法规。这种行为不仅可能导致法律责任，还可能对土地资源的合理利用和城市规划造成不良影响。
具体来说，对于这类违法行为，通常会面临以下处理措施：
责令退还非法占用的土地： 根据《中华人民共和国土地管理法》的规定，未经批准非法占用土地的，由县级以上人民政府土地行政主管部门责令退还非法占用的土地。这意味着，擅自建设的厂房和配套设施需要被拆除，土地需要恢复原状并退还给政府。
行政处罚： 非法占地行为还会受到行政处罚，通常包括罚款。罚款的金额会根据非法占用土地的面积、性质以及违法行为的严重程度来确定。例如，在某些地区，非法占用土地每平方米可能会被处以一定金额的罚款。
补办合法用地手续： 如果当事人希望继续使用该块土地进行建设，需要按照相关规定补办合法用地手续。这包括提交申请、进行土地审批、缴纳相关费用等步骤。只有获得合法的土地使用权，才能确保建设的合法性和稳定性。
法律责任： 除了上述行政措施外，如果非法占地行为构成犯罪，还可能面临刑事责任。根据相关法律规定，非法占用土地情节严重的，可能会被追究刑事责任。
为了避免这类问题的发生，建议企业和个人在占用土地进行建设前，务必先了解并遵守相关的法律法规和规定。如果需要建设厂房或其他设施，应该按照正规程序进行申请和审批，确保建设的合法性和合规性。
此外，政府和社会各界也应该加强对土地资源的保护和管理，加大对违法用地行为的查处力度，确保土地资源的合理利用和城市规划的顺利实施。同时，通过加强宣传和教育，提高公众对土地法律法规的认识和遵守意识，共同维护土地资源的可持续利用和发展。