当拆迁款未付时，被拆迁人可以根据具体情况起诉以下相关责任主体以维护自身合法权益：

1. 市、县级人民政府：

   • 依据：根据《国有土地上房屋征收与补偿条例》，市、县级人民政府负责本行政区域的房屋征收与补偿工作。
   • 适用情形：在国有土地上房屋征收中，如果政府未履行补偿协议约定义务，或者未作出补偿决定即进行拆迁，导致拆迁款未付，被拆迁人可以起诉该市、县级人民政府。
   • 示例：如某城市旧城改造项目中，市政府作出房屋征收决定并与被征收人签订补偿协议，但未按协议支付补偿款，被征收人可依法起诉该市政府。

2. 房屋征收部门：

   • 职责：房屋征收部门具体承担房屋征收与补偿的相关工作，如协商补偿事宜、签订补偿协议等。
   • 适用情形：如果房屋征收部门不依法履行职责，如不按规定支付补偿费用，导致拆迁款未付，被拆迁人可以将该部门列为被告。
   • 示例：某区房屋征收部门与被拆迁人达成补偿协议后拖延支付补偿款，被拆迁人可依法将该部门起诉至法院。

3. 乡镇政府或街道办事处：

   • 适用情形：在集体土地征收中，如果乡镇政府或街道办事处受委托具体实施征地拆迁工作，且存在不支付征地补偿款等违法行为，被拆迁人也可以起诉这些单位。

4. 具体实施拆迁的单位：

   • 适用情形：如果具体实施拆迁的单位受市、县级人民政府或房屋征收部门委托进行拆迁工作，但不依法给予补偿，导致拆迁款未付，被拆迁人同样可以起诉这些单位。不过，需要注意的是，委托单位通常对受委托单位的行为负责，若受委托单位无力承担责任，最终责任可能由委托单位承担。

在起诉前，被拆迁人还需要注意以下几点：

• 准备相关证据材料：如拆迁补偿协议、房屋评估报告、拆迁通知等，以证明自己的权益受到侵害。
• 明确诉讼请求：如要求法院判决被告支付拆迁款、利息以及可能产生的违约金等。
• 了解法律程序：根据《中华人民共和国行政诉讼法》的相关规定，确定管辖法院，并按照法院的要求提交起诉状及相关证据材料。

此外，如果拆迁款未付的情况涉及复议程序，被拆迁人还需要注意以下法律后果：

• 如果征地拆迁决定经过复议且复议机关改变了原行政行为，那么复议机关将成为被告。
• 如果复议机关在法定期限内未作出复议决定，被拆迁人可以选择起诉原行政行为的作出机关或者起诉复议机关不作为。

最后，我建议被拆迁人在遇到拆迁款未付的情况时，先尝试通过协商、调解等方式解决纠纷。如果这些方式无法解决问题，再依法通过法律途径维护自己的合法权益。如果你有任何具体的法律问题或需要进一步的法律帮助，请直接向我咨询。