征地违法查处的主体主要包括县级以上地方人民政府土地行政主管部门以及其他相关监管部门。以下是对这一问题的详细分析：
县级以上地方人民政府土地行政主管部门：
- 职责依据：根据《中华人民共和国土地管理法》的相关规定，县级以上地方人民政府土地行政主管部门负责本行政区域内土地的管理和监督工作，包括征地的合法性审查、监督征地程序的执行等。
- 查处内容：当发现征地行为存在违法情形时，如未依法进行审批、未按照法定程序进行公告和听证、补偿标准不合理等，土地行政主管部门有权进行查处，包括责令停止违法行为、限期改正、罚款等措施。
其他相关监管部门：
- 纪检监察机关：在征地过程中，如果存在贪污腐败、滥用职权等违法违纪行为，纪检监察机关将依法进行查处。这些部门具有独立的调查权和处理权，可以对涉案人员进行纪律处分或移送司法机关处理。
- 其他政府部门：根据具体情况，其他政府部门如审计部门、财政部门等也可能在征地违法查处中发挥一定作用。例如，审计部门可以对征地补偿费用的使用情况进行审计监督，确保资金合规使用。
在征地违法查处过程中，被征地农民或相关权益人可以采取以下措施：
- 及时举报：发现征地违法行为后，应及时向上述相关部门进行举报，详细说明违法情形并提供证据材料。举报方式可以包括书面举报、电话举报、网络举报等。
- 申请信息公开：为了获取更多关于征地的详细信息，可以向负责信息公开的政府部门提交书面申请，要求公开征地项目的审批文件、补偿费用收支情况等关键信息。这有助于被征地农民或相关权益人了解征地行为的合法性，并为后续的维权行动提供依据。
- 利用法律途径维权：如果认为征地行为确实违法，且相关部门未依法进行查处，被征地农民或相关权益人可以通过行政复议或行政诉讼等法律途径进行维权。行政复议是向复议机关提出申请，要求复议机关对征地行为的合法性进行审查并作出决定；行政诉讼则是向人民法院提起诉讼，要求法院对征地行为进行司法审查并作出判决。
征地违法查处的法律后果：
- 对违法征地行为的责任人：如果征地行为被认定为违法，相关责任人将面临法律责任，包括行政责任、民事责任甚至刑事责任。具体责任形式将根据违法情节的严重程度和造成的后果来确定。
- 对被征地农民或相关权益人：如果征地行为被认定为违法，被征地农民或相关权益人有权要求恢复原状、返还财产、赔偿损失等。同时，他们还可以通过法律途径维护自己的合法权益，确保征地行为的合法性和公正性。
在处理征地违法查处问题时，建议被征地农民或相关权益人保持冷静和理性，通过合法途径表达诉求并维护自己的合法权益。如果遇到法律难题或需要进一步的法律帮助，可以直接向我咨询，我将根据具体情况提供专业的法律意见和指导。