若机器设备被无故扣押，您可以通过以下途径来维护自己的合法权益：

1. 与扣押方协商：

   • 首先，尝试与扣押方进行友好沟通，了解他们扣押设备的原因和依据。如果扣押是出于误解或错误，通过协商可能能够迅速解决问题，恢复设备的正常使用。

2. 报警处理：

   • 如果协商无果，且您认为扣押行为是非法的，您可以立即向当地公安机关报案。警方将会介入调查，并根据调查结果采取相应的法律措施。如果扣押行为构成犯罪，如盗窃罪或侵占罪，警方将依法追究扣押方的刑事责任。

3. 提起民事诉讼：

   • 若扣押行为未构成犯罪，但给您造成了经济损失，您可以考虑向法院提起民事诉讼，要求扣押方返还设备并赔偿损失。在诉讼过程中，您需要提供充分的证据证明扣押行为的非法性以及您因此遭受的损失。法院将根据事实和法律规定作出判决，保护您的合法权益。

4. 申请诉前财产保全（如适用）：

   • 在提起民事诉讼之前，如果您担心扣押方可能会转移或毁损设备，导致判决难以执行，您可以向法院申请诉前财产保全。法院将依法对设备进行查封、扣押或冻结，以确保判决能够得到有效执行。但请注意，申请诉前财产保全需要提供一定的担保，并需在法定期限内提起诉讼。

5. 了解并运用相关法律法规：

   • 在处理此类纠纷时，了解并运用相关法律法规至关重要。例如，《中华人民共和国民法典》中关于物权保护、侵权责任等规定，以及《中华人民共和国刑法》中关于盗窃罪、侵占罪等犯罪构成和刑罚的规定，都将为您的维权行动提供有力的法律支持。

在采取上述行动时，您需要注意以下几点：

• 保留证据：务必保留好与扣押行为相关的所有证据，如扣押通知、现场照片、视频、证人证言等。这些证据将在后续的协商、报警或诉讼过程中发挥关键作用。
• 及时行动：一旦发现设备被扣押，应尽快采取行动，以免错过最佳的维权时机。
• 寻求专业帮助：如果您对法律程序不熟悉或感到困惑，可以寻求专业律师的帮助。律师将能够为您提供专业的法律建议和指导，帮助您更好地维护自己的合法权益。

若您在此过程中遇到任何法律问题或需要进一步的帮助，请直接向我咨询。作为专注于刑事辩护和合同纠纷领域的专业律师，我将竭诚为您提供全面、准确的法律服务。