如果被执行人的厂房已经被查封，但其仍然不支付款项，您可以采取以下法律措施来维护自己的权益：
一、申请继续强制执行
提交强制执行申请：
- 根据《中华人民共和国民事诉讼法》的相关规定，如果被执行人未按执行通知履行法律文书确定的义务，您可以向法院提交强制执行申请书，并提供相关证据材料，如判决书、查封裁定书等，以证明被执行人的未履行义务。
法院审查与立案：
- 法院将对您的申请进行审查，确认申请符合法定条件后，将立案执行。此时，法院将依法对被执行人的财产进行进一步的查控和处置，包括但不限于对查封的厂房进行评估、拍卖或变卖。
评估、拍卖或变卖财产：
- 在执行过程中，法院将依法对查封的厂房进行评估，确定其市场价值。随后，法院将通过拍卖或变卖的方式处置该厂房，并将所得款项用于偿还您的债务。
二、追究被执行人的法律责任
司法拘留：
- 如果被执行人有能力履行而拒不履行法院判决、裁定，法院可以依据《中华人民共和国民事诉讼法》的相关规定，对被执行人进行司法拘留，拘留期限最长可达十五日。
追究拒执罪：
- 如果被执行人的拒不执行行为情节严重，可能构成拒不执行判决、裁定罪。根据《中华人民共和国刑法》第三百一十三条的规定，对人民法院的判决、裁定有能力执行而拒不执行，情节严重的，处三年以下有期徒刑、拘役或者罚金；情节特别严重的，处三年以上七年以下有期徒刑，并处罚金。您可以向公安机关报案，由公安机关立案侦查并移送检察机关提起公诉。
三、参与分配与优先受偿
参与分配程序：
- 如果被执行人有多个债权人，且其财产不足以清偿全部债务，您可以申请参与分配。根据相关法律规定，被执行人为公民或者其他组织，在执行程序开始后，被执行人的其他已经取得执行依据的债权人发现被执行人的财产不能清偿所有债权的，可以向人民法院申请参与分配。参与分配需按照法定程序进行，由法院根据各债权人的债权比例分配执行款项。
优先受偿权：
- 如果您对查封的厂房享有抵押权等优先受偿权，根据《中华人民共和国民法典》的相关规定，您可以在拍卖款中优先获得清偿。
四、继续追索其他财产与执行时效
继续追索其他财产：
- 如果拍卖或变卖查封厂房所得款项不足以清偿全部债务，您可以继续向被执行人追索其他财产，包括不动产、动产、银行存款、股权等。您应积极向法院提供被执行人的财产线索，以便法院进行查控和处置。
注意执行时效：
- 您需注意执行程序的时效要求。根据《中华人民共和国民事诉讼法》的相关规定，申请执行的期间为二年。您应在法定期限内提出执行申请，避免因超过时效而丧失执行权利。
行动建议：
- 及时与法院沟通：了解执行进展，提供被执行人的财产线索，确保执行程序顺利进行。
- 保留相关证据：包括判决书、查封裁定书、与被执行人的沟通记录等，以备不时之需。
- 寻求专业法律帮助：如果您对法律程序不熟悉或遇到复杂情况，建议寻求专业律师的帮助，以确保您的权益得到充分维护。
在处理此类纠纷时，请务必遵守法律规定，合法合规地进行操作。如果您有任何疑问或需要进一步的法律帮助，请随时向我咨询。