根据《公路法》及相关规定，超限不足5%（假设指超限幅度不足5%）的处罚需结合超限类型及具体情节，分以下情况处理：

1. 货运车辆超限运输（总质量、轴载等超限）

   • 法律依据：根据《公路安全保护条例》第六十四条，违反超限运输规定的，由公路管理机构责令停止违法行为，可处3万元以下罚款。
     
   • 处罚逻辑：
     
     • 超限幅度不足5%：通常属于“情节较轻”，实践中可能从轻或减轻处罚，例如处1000元以下罚款，并责令卸载超限部分。
       
     • 关键点：需同时满足“首次违法”“未造成路产损坏”“配合执法”等条件，否则仍可能按标准处罚。
       

2. 工程车辆（如挖掘机、压路机）未经许可上路行驶

   • 法律依据：根据《公路法》第七十六条，未经批准超限行驶的，由交通主管部门责令停止违法行为，可处3万元以下罚款。
     
   • 处罚逻辑：
     
     • 即使超限不足5%，若未办理《超限运输车辆通行证》，仍属违法，罚款幅度与普通货运车辆一致，但可能因“超限幅度小”酌情从轻。
       

3. 特殊情形：超限但未达处罚标准

   • 地方性规定：部分省份（如浙江、广东）出台细则，对超限不足5%且未造成危害的，可能以警告、教育为主，暂不处罚。
     
   • 需核实：需结合车辆类型、行驶路线（如是否经过桥梁、隧道等特殊路段）综合判断。
     

建议行动：

• 立即停止超限行为，卸载超限部分；
  
• 主动联系当地公路管理机构，说明情况并配合调查；
  
• 保留行驶记录、货物称重单等证据，争取从轻处理。
  

提示：超限处罚不仅看幅度，更关注是否造成路产损坏、是否多次违法等情节。如有具体案例，可进一步提供细节，我会为您分析应对方案。