误入ETC专用道路是否违法，需根据具体情况判断。一般来说，如果车辆未安装ETC设备而误入ETC车道，通常不会受到实质性的处罚，但可能会面临一些纠正措施。以下是对此问题的详细分析：

1. 未安装ETC设备的情况：

   • 若车辆未安装ETC设备而误入ETC车道，系统会识别车辆无法正常通行，并可能引导其从人工车道通过。
   • 在这种情况下，一般不会产生额外的处罚，但驾驶人应确保及时按照工作人员的指示操作，以避免影响交通秩序。

2. 记分与罚款的情况：

   • 根据《中华人民共和国道路交通安全法》的相关规定，不按规定车道行驶可被记3分，并处以20元以上200元以下的罚款。误入ETC车道若被视为不按规定车道行驶，则可能面临此类处罚。
   • 具体处罚情况由交通管理部门根据实际情况决定，可能会因地区而异。

3. 特殊违规行为的处罚：

   • 若驾驶人为离开ETC车道而采取倒车、逆行等危险行为，将严重扰乱交通秩序，增加事故风险。对此，将处以罚款200元、扣12分的严厉处罚。
   • 若驾驶人强行通过或非法占用ETC车道，影响其他车辆正常通行，也可能会面临相应的罚款处罚。

综上所述，误入ETC车道本身不一定构成违法行为，但如果因此导致交通违规或影响其他车辆正常通行，则可能面临记分、罚款等处罚。为避免不必要的麻烦，建议驾驶人在行驶过程中提前观察车道指示标志，确保选择正确的车道进行通行。如果不慎误入了ETC车道，应及时与现场工作人员沟通协商，寻求合理的解决方案。