若您遭遇他人各种骚扰和跟踪，欲通过法律起诉程序维护自身权益，可按照以下步骤进行：

1. 收集证据

   • 直接证据：包括但不限于跟踪者的照片、视频（如监控录像、手机拍摄等）、通话记录、短信、社交媒体消息、电子邮件等，这些能直接证明跟踪和骚扰行为的存在。
   • 间接证据：如证人证言（邻居、朋友、同事等目击者）、报警记录（若曾报警）、医疗记录（若因骚扰导致身体或精神伤害并就医）、心理评估报告等，这些证据虽不直接显示跟踪行为，但能辅助证明骚扰对您生活的影响。
   • 记录详细信息：每次遭遇骚扰或跟踪时，尽量记录下时间、地点、具体行为、在场人员等信息，这些细节在后续法律程序中可能至关重要。

2. 向公安机关报案

   • 在收集到一定证据后，应立即向当地公安机关报案，详细陈述被骚扰和跟踪的情况，并提交所收集的证据。
   • 公安机关会根据《治安管理处罚法》或《刑法》的相关规定，对跟踪者进行调查，并根据情节轻重给予相应的行政处罚或刑事立案。

3. 考虑申请保护令

   • 如果骚扰和跟踪行为严重到影响您的正常生活，您可以向法院申请“人身安全保护令”。
   • 申请时需提交相关证据，证明您正面临或可能面临家庭暴力（在广义上包括跟踪、骚扰等行为）的现实危险。
   • 法院在审查后，若认为符合条件，会发出保护令，禁止跟踪者接近、骚扰您，并可能规定其他限制措施。

4. 提起民事诉讼

   • 若骚扰和跟踪行为给您造成了经济损失（如医疗费用、精神损害赔偿等）或名誉损害，您可以考虑向法院提起民事诉讼。
   • 在诉讼中，您需要证明跟踪者的行为与您所遭受的损失之间存在因果关系，并要求跟踪者承担相应的赔偿责任。

5. 刑事诉讼（如构成犯罪）

   • 如果跟踪和骚扰行为严重到构成犯罪（如寻衅滋事罪、非法侵入住宅罪、侮辱罪、诽谤罪等），公安机关在立案后，会将案件移送检察院审查起诉。
   • 检察院在审查后，若认为证据充分，会向法院提起公诉，由法院对跟踪者进行审判并判处相应的刑罚。

在整个过程中，您需要注意以下几点：

• 保持冷静，不要与跟踪者发生直接冲突，以免自身受到伤害。
• 及时寻求法律帮助，了解自身权益和可能的法律途径。
• 遵循法律程序，不要采取非法手段进行报复或自救。

若您在此过程中遇到任何法律问题或需要进一步的法律帮助，请直接向我咨询。我会根据您的具体情况，提供详细、专业的法律建议。