关于厂房内私自设立机器设备是否合法的问题，这并非一个简单的“是”或“否”的回答，而是需要根据具体情况来综合判断。以下是我从不同角度为你进行的分析：

1. 土地使用权与规划许可：

   • 首先，要确认厂房的土地使用权性质以及是否获得了相应的规划许可。如果厂房的土地使用权是工业用地，且设立机器设备符合当地的工业规划和环保要求，那么从土地和规划的角度来看，可能是合法的。
   • 反之，如果厂房的土地使用权并非工业用地，或者设立机器设备违反了当地的工业规划或环保要求，那么这种行为就可能是违法的。

2. 建筑安全与消防安全：

   • 厂房内设立机器设备还需要考虑建筑安全和消防安全。如果机器设备的设立不影响厂房的结构安全，且符合消防安全的相关规定，那么从安全和消防的角度来看，可能是合法的。
   • 如果机器设备的设立对厂房的结构安全造成了影响，或者违反了消防安全的相关规定，如堵塞了消防通道、影响了消防设施的正常使用等，那么这种行为就可能是违法的。

3. 环保要求：

   • 设立机器设备还可能涉及到环保问题。如果机器设备在运行过程中会产生噪音、废气、废水等污染物，那么需要确保这些污染物得到了有效的处理，符合当地的环保要求。
   • 如果机器设备在运行过程中产生的污染物没有得到有效处理，或者违反了当地的环保要求，那么这种行为就可能是违法的。

4. 其他法律法规：

   • 除了上述几个方面外，还需要考虑其他相关的法律法规，如安全生产法、劳动法等。如果机器设备的设立违反了这些法律法规的相关规定，那么这种行为也可能是违法的。

法律建议：

• 在设立机器设备之前，建议先咨询当地的规划、环保、消防等部门，了解相关的规定和要求，确保机器设备的设立符合法律法规的规定。
• 如果已经设立了机器设备，但不确定是否合法，建议尽快进行自查，并咨询专业的法律人士或相关部门，以避免可能的法律风险。

可能的法律后果：

• 如果厂房内私自设立机器设备违反了相关的法律法规，可能会面临罚款、责令停产停业、拆除设备等行政处罚。
• 在严重的情况下，如果这种行为构成了犯罪，还可能面临刑事处罚。

综上所述，厂房内私自设立机器设备是否合法，需要根据具体情况来综合判断。如果你有任何疑问或需要进一步的法律帮助，请随时向我咨询。